[發明專利]一種金屬鋰蒸發裝置、蒸鍍設備及金屬鋰蒸發方法

有效

• 申請號: 201710728956.7
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107523793B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 胡長奇;郭書鵬;王夢帝
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/14
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，包括：

真空腔殼體；

安裝于所述真空腔殼體內的蒸發坩堝，所述蒸發坩堝包括堝體和用于蓋合所述堝體的蓋體，所述蓋體上設有多個蒸發孔；

開孔組件，所述開孔組件包括針體支撐板、安裝于所述針體支撐板且與所述蒸發孔一一對應的開孔針；當所述針體支撐板處于第一工位時，每一個所述開孔針穿過對應的蒸發孔伸入至所述蒸發坩堝內以插入至所述蒸發坩堝內的金屬鋰內，當所述針體支撐板處于第二工位時，每一個所述開孔針自所述蒸發坩堝內脫離；

用于驅動所述針體支撐板動作的第一驅動組件。

2.根據權利要求1所述的金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，所述開孔組件還包括：

套管支撐板，所述套管支撐板上設置有與所述蒸發孔一一對應的套管；每一組相互對應的蒸發孔、開孔針以及套管中，所述套管設于所述開孔針外側，當所述套管支撐板處于第一工位、且所述針體支撐板處于第一工位時，所述套管穿過對應的蒸發孔伸入至所述蒸發坩堝內以與所述蒸發坩堝內放置的金屬鋰的頂面相抵，所述開孔針穿過所述套管插入所述金屬鋰內；當所述套管支撐板處于第二工位時，所述套管自所述蒸發坩堝內脫離；

用于驅動所述套管支撐板動作的第二驅動組件。

3.根據權利要求2所述的金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，所述第二驅動組件包括：

安裝于所述蒸發坩堝周側的第二升降馬達；

與所述第二升降馬達的輸出軸傳動連接、且軸心線與所述蒸發孔軸心線平行的第二絲杠，所述第二絲杠與所述套管支撐板螺紋配合。

4.根據權利要求2所述的金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，所述套管焊接于所述套管支撐板。

5.根據權利要求2所述的金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，所述套管支撐板包括底板以及相對設置的兩個側板，所述套管設于所述底板上，所述側板設于所述底板朝向所述套管的一側，且每個所述側板沿所述套管支撐板移動方向與所述真空腔殼體的內壁之間動密封。

6.根據權利要求2所述的金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，還包括用于驅動所述針體支撐板和所述套管支撐板均偏離所述蓋體的第三驅動組件。

7.根據權利要求1所述的金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，所述開孔針焊接于所述針體支撐板。

8.根據權利要求1所述的金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，所述第一驅動組件包括：

安裝于所述蒸發坩堝周側的第一升降馬達；

與所述第一升降馬達的輸出軸傳動連接、且軸心線與所述蒸發孔軸心線平行的第一絲杠，所述第一絲杠與所述針體支撐板螺紋配合。

9.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括如權利要求1-8任一項所述的金屬鋰蒸發裝置。

10.一種金屬鋰蒸發方法，采用如權利要求1-8任一項所述金屬鋰蒸發裝置，其特征在于，包括：

蒸發前蒸發材料及設備的前序準備；

將鋰塊平放于蒸發坩堝內，并用蓋體將堝體蓋合；

將真空腔殼體抽真空至達到蒸發工藝要求；

開孔針沿所述蓋體上的蒸發孔伸入至所述蒸發坩堝內并插入所述鋰塊內，在所述鋰塊頂面形成開孔后抽離所述鋰塊并脫離所述蒸發坩堝；

利用所述開孔露出的表面進行鋰塊蒸發。