[發明專利]液滴排出裝置和液滴排出條件修正方法

有效

• 申請號: 201710723809.0
• 申請日: 2017-08-22
• 公開（公告）號: CN107768278B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 林輝幸;大島澄美;島村明典
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B41J29/393;B41J2/07
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發明基于線傳感器對檢查排出的功能液的液滴的拍攝結果適當修正功能液的液滴的排出條件。液滴排出裝置(1)用于使搭載有工件(W)的工件臺(40)相對于液滴排出噴嘴在主掃描方向上移動，從液滴排出噴嘴將功能液的液滴排出到工件(W)上進行描繪，其包括線傳感器，在工件(W)上預先形成有規定大小的標記，從液滴排出噴嘴將液滴檢查排出到工件臺(40)上的工件(W)，由線傳感器(31)進行工件(W)上的被檢查排出的液滴和上述標記的拍攝，基于所拍攝的標記在所述主掃描方向上的長度，修正上述液滴的拍攝結果，基于該修正后的液滴的拍攝結果修正來自液滴排出噴嘴的排出條件。

技術領域

本發明涉及向工件排出功能液的液滴進行描繪的液滴排出裝置和該液滴排出裝置的液滴排出條件修正方法。

背景技術

以往，作為使用功能液在工件上描繪的裝置，已知使該功能液以液滴形式排出的注射方式的液滴排出裝置。液滴排出裝置廣泛用于制造例如有機EL裝置、濾色器、液晶顯示裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發射裝置(FED裝置、SED裝置)等電光學裝置(平板顯示器；FPD)時等情況。

在液滴排出裝置中，要求功能液的液滴的排出位置的正確性、因此，出于檢查并修正液滴的排出的目的，在進行描繪前，檢查排出液滴，用拍攝裝置拍攝該檢查排出的液滴，基于拍攝結果修正排出條件來調整功能液的排出量和排出時刻等(參照專利文獻1和2)。

另外，專利文獻1的液滴排出裝置中，對檢查用的介質進行功能液的檢查排出，在專利文獻2的液滴排出裝置中，對工件上的檢查區域進行功能液的檢查排出。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-204411號公報

專利文獻2：日本特開2006-44059號公報

發明內容

發明想要解決的技術問題

但是，作為檢查排出的功能液滴用的拍攝裝置，相比于區域傳感器更廣泛使用適于連續處理的線傳感器。

使用線傳感器時，必須由工件臺按期望的速度恒定地在指定方向即主掃描方向上移動工件。這是因為，如果不按期望的恒定速度移動工件，實際的液滴和基于線傳感器的拍攝結果的圖像(以下稱作拍攝圖像)中的液滴的形狀不同。例如，當檢查排出的液滴實際上為正圓時，如果工件的移動速度小于期望的速度，則在線傳感器的拍攝圖像中，液滴的形狀成為在移動方向即主掃描方向具有長軸的橢圓形狀，如果移動速度大于期望的速度，則在線傳感器的拍攝圖像中，液滴的形狀為在與主掃描方向正交的方向上具有長軸的橢圓形狀。

然而，由工件臺移動的工件的移動速度具有偏差。因此，由線傳感器拍攝檢查排出的液滴時，有時會根據線傳感器的拍攝圖像無法判斷檢查排出的液滴的實際形狀。若無法判斷實際形狀也無法準確把握檢查排出的液滴的排出位置。結果是，無法適當修正來自排出噴嘴的液滴的排出條件。

專利文獻1和2對這一點也沒有公開或啟示任何內容。

本發明是鑒于這一點作出的，其目的在于能夠在相對于液滴排出噴嘴在主掃描方向上移動的工件上從液滴排出噴嘴排出功能液的液滴進行描繪的液滴排出裝置中，基于線傳感器對檢查排出的功能液的液滴的拍攝結果適當修正功能液的液滴的排出條件。

用于解決技術問題的技術方案