[發明專利]機械手電磁升降機構

在審

• 申請號: 201710721513.5
• 申請日: 2017-08-22
• 公開（公告）號: CN107378934A
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 侯永剛
• 申請（專利權）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號: B25J9/10
• 分類號: B25J9/10;B25J15/02
• 代理公司: 北京得信知識產權代理有限公司11511
• 代理人: 袁偉東

技術領域

本發明涉及機械領域，具體涉及一種機械手電磁升降機構。

背景技術

現代工業迅速發展，半導體器件作為高新科技的產物，需求量日漸提高，因此人們對半導體加工設備的自動化水平日漸提高。

機械手作為半導體加工設備的傳送結構，大幅提高了取送片的效率，同時也為批量高效率的生產提供了可能，降低了使用工作人員的數量，也為半導體設備的使用提供了很大便利。

目前市面上的機械手多種多樣，但是有的機械手包含高精尖的技術而制造成本較高；有的傳送機構功能簡單，但結構復雜、制造成本高、可靠性低、使用壽命也低；有的設備配備了高精尖的全自動機械手成品，無疑使得設備的成本更高，也浪費了高精尖全自動成品機械手的很大范圍的其他功能。

發明內容

本發明的目的是提供一種機械手電磁升降機構，該機械手電磁升降機構包括上方設有機械手的安裝基板和推拉式電磁鐵，所述推拉式電磁鐵包括纏繞有電磁線圈的電磁鐵主體和貫穿所述電磁鐵主體并且能夠相對所述電磁鐵主體相對軸向移動的活動桿，所述電磁鐵主體連接于所述安裝基板，所述活動桿的桿頭和桿尾分別位于所述安裝基板的兩側，所述桿頭與所述機械手連接，所述桿尾設有阻擋部。該機械手電磁升降機構結構簡單，使用調節方便，成本低，能夠實現機械手的升降動作。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，所述桿頭設有與所述機械手接觸的托片。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，所述托片為等腰三角形托片，所述桿頭與所述等腰三角形托片的頂角連接，所述等腰三角形托片的兩個底角沿所述機械手的橫向方向延伸設置。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，所述電磁鐵主體和所述阻擋部之間還設有彈簧。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，所述機械手電磁升降機構還包括液壓緩沖器，所述液壓緩沖器包括液壓緩沖器主體和運動桿，所述液壓緩沖器主體連接于所述安裝基板，所述液壓緩沖器主體的一端設有液壓調控部，所述運動桿能夠相對所述液壓緩沖器主體的另一端軸向移動，所述運動桿包括運動端，所述運動端與所述機械手連接。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，所述機械手電磁升降機構包括兩個所述液壓緩沖器，兩個所述液壓緩沖器沿所述機械手的橫向方向分別設置在所述推拉式電磁鐵的兩側，并且兩個所述液壓緩沖器與所述推拉式電磁鐵布置為三角結構。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，兩個所述液壓緩沖器的所述運動端分別設置在所述等腰三角形托片的兩個底角處。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，兩個所述液壓緩沖器的所述運動桿的運動端分別穿過所述等腰三角形托片的兩個底角固定于所述機械手上。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，所述運動桿的升降距離大于所述活動桿的升降距離。

本發明的機械手電磁升降機構中，優選為，所述機械手電磁升降機構還包括水平導向軸和水平導向滑塊，所述水平導向滑塊連接于所述安裝基板，并且能夠沿所述水平導向軸滑動地安裝在所述水平導向軸上。

通過上述技術方案，本發明通過在安裝基板上設置推拉式電磁鐵，使得當電磁鐵主體內的電磁線圈通電時會瞬間產生磁場，該磁場便會對活動桿產生吸引力，并將桿頭推向遠離電磁鐵主體的位置；當電磁鐵主體內的電磁線圈斷電時會瞬間失去磁性，同時也失去了吸引力，并將桿頭恢復至原始位置，即靠近電磁鐵主體的位置。桿頭與機械手連接，通過上述桿頭的運動來實現機械手的升降動作。該機械手電磁升降機構結構簡單，使用調節方便，成本低，能夠實現機械手的升降動作。

附圖說明

圖1是根據本發明的優選實施方式的機械手電磁升降機構的主視圖；

圖2是根據本發明的優選實施方式的機械手電磁升降機構的左視圖；

圖3是根據本發明的優選實施方式的機械手電磁升降機構的俯視圖；

圖4是根據本發明的優選實施方式的機械手電磁升降機構中，處于伸出狀態的推拉式電磁鐵的結構示意圖；

圖5是根據本發明的優選實施方式的機械手電磁升降機構中，處于縮回狀態的推拉式電磁鐵的結構示意圖；

圖6是根據本發明的優選實施方式的機械手電磁升降機構中，處于伸出狀態的緩沖器的結構示意圖；

圖7是根據本發明的優選實施方式的機械手電磁升降機構中，處于縮回狀態的推拉式電磁鐵的結構示意圖。

附圖標記：