[發明專利]一種連續蒸鍍系統有效
| 申請號： | 201710718862.1 | 申請日： | 2017-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN107488831B | 公開（公告）日： | 2019-11-26 |
| 發明（設計）人： | 徐超 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44280 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人： | 鐘子敏<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 坩堝 蒸鍍 存儲 傳輸管 溫度控制裝置 一端連接 蒸鍍材料 蒸鍍系統 閥門設置 生產效率 升溫工序 傳統的 閥門 基板 生產成本 污染 出口 | ||
【權利要求書】：
1.一種連續蒸鍍系統，其特征在于，包括：
蒸鍍坩堝，所述蒸鍍坩堝內存儲蒸鍍材料，所述蒸鍍坩堝頂部設有蒸鍍出口；
存儲坩堝，所述存儲坩堝內存儲蒸鍍材料；其中，所述蒸鍍材料為熔融型材料；
傳輸管，所述傳輸管的一端連接所述存儲坩堝的底部，另一端連接所述蒸鍍坩堝的中上部；
閥門，所述閥門設置在所述傳輸管的管路上；
溫度控制裝置，所述溫度控制裝置與所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管連接，用于控制所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管的溫度；所述溫度控制裝置的數量為3個，包括加熱絲與溫度顯示器，所述加熱絲纏繞在所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管的外表面；其中，整個連續蒸鍍過程無需降溫；
擋板、所述擋板設置于所述蒸鍍出口的上方；
所述蒸鍍坩堝和存儲坩堝還包括蒸鍍材料檢測器，所述蒸鍍材料檢測器位于所述蒸鍍坩堝和存儲坩堝內部。
2.根據權利要求1所述的一種連續蒸鍍系統，其特征在于,所述閥門為電動閥門。
3.根據權利要求1所述的一種連續蒸鍍系統，其特征在于，所述存儲坩堝和蒸鍍坩堝的形狀為圓柱體或長方體。
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