[發明專利]一種連續蒸鍍系統

有效

• 申請號: 201710718862.1
• 申請日: 2017-08-21
• 公開（公告）號: CN107488831B
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 徐超
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/56
• 代理公司: 44280 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 鐘子敏<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發明公開了一種連續蒸鍍系統，該系統包括：蒸鍍坩堝，所述蒸鍍坩堝內存儲蒸鍍材料，所述蒸鍍坩堝頂部設有蒸鍍出口；存儲坩堝，所述存儲坩堝內存儲蒸鍍材料；傳輸管，所述傳輸管的一端連接所述存儲坩堝，另一端連接所述蒸鍍坩堝；閥門，所述閥門設置在所述傳輸管的管路上；溫度控制裝置，所述溫度控制裝置與所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管連接，用于控制所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管的溫度。本發明的連續蒸鍍系統避免了傳統的降溫添料升溫工序，降低了基板發生污染的可能，也提高了生產效率，降低了生產成本。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，特別是涉及一種連續蒸鍍系統。

背景技術

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管，簡稱OLED)顯示屏由于具有薄、輕、寬視角、主動發光、發光顏色連續可調、響應速度快、能耗小、驅動電壓低、工作溫度范圍寬、生產工藝簡單、發光效率高及可柔性顯示等優點，已被列為極具發展前景的下一代顯示技術。

制備OLED器件通常需要采用小分子蒸鍍，小分子蒸鍍主要是在高真空環境下加熱有機材料，使升華型或者熔融型的有機材料在高溫狀態下汽化，蒸鍍材料升華或汽化后的原子、分子或原子團組成的蒸氣沉積在基板表面成膜。

但由于蒸鍍坩堝的容量有限，經常需要開腔添加蒸鍍材料，而從降溫到添加蒸鍍材料再到高真空環境的建立耗時較長，這大大限制了蒸鍍機的產能，增加了OLED顯示器的制作成本，此外，向蒸鍍腔體內添加蒸鍍材料也極易導致粉塵進入，從而造成基板污染。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種連續蒸鍍系統，能夠實現連續蒸鍍。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是一種連續蒸鍍系統，包括：蒸鍍坩堝，所述蒸鍍坩堝內存儲蒸鍍材料，所述蒸鍍坩堝頂部設有蒸鍍出口；存儲坩堝，所述存儲坩堝內存儲蒸鍍材料；傳輸管，所述傳輸管的一端連接所述存儲坩堝，另一端連接所述蒸鍍坩堝；閥門，所述閥門設置在所述傳輸管的管路上；溫度控制裝置，所述溫度控制裝置與所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管連接，用于控制所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管的溫度。進一步地，所述蒸鍍材料為熔融型材料；

進一步地，所述傳輸管的一端連接所述存儲坩堝的底部，另一端連接所述蒸鍍坩堝的中上部；

進一步地，所述閥門為電動閥門；

進一步地，所述溫度控制裝置的數量為三個，分別與所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管連接，用于控制所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管的溫度；

進一步地，所述溫度控制裝置包括加熱絲，所述加熱絲纏繞在所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管的外表面，用于控制所述蒸鍍坩堝、存儲坩堝和傳輸管的溫度；

進一步地，所述蒸鍍坩堝和存儲坩堝還包括蒸鍍材料檢測器，所述蒸鍍材料檢測器位于所述蒸鍍坩堝和存儲坩堝內部；

進一步地，所述溫度控制裝置還包括溫度顯示器；

進一步地，所述存儲坩堝和蒸鍍坩堝的形狀為圓柱體或長方體；

進一步地，還包括擋板，所述擋板設置于所述蒸鍍出口的上方。

本發明的有益效果是：區別于現有技術的情況，本發明可以在蒸鍍坩堝內的蒸鍍材料消耗殆盡時，使存儲坩堝內的蒸鍍材料通過傳輸管補充至蒸鍍坩堝中，從而實現連續蒸鍍。本發明的連續蒸鍍系統避免了傳統的降溫添料升溫工序，因此，降低了基板發生污染的可能，也提高了生產效率，降低了生產成本。

附圖說明

圖1是本發明連續蒸鍍系統一實施方式的結構示意圖。

具體實施方式