[發(fā)明專利]X射線透射檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710717081.0
• 申請日: 2017-08-21
• 公開（公告）號: CN107782750B
• 公開（公告）日: 2021-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高原稔幸
• 申請（專利權(quán)）人: 日本株式會社日立高新技術(shù)科學(xué)
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

提供X射線透射檢查裝置，其能夠容易地進行基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的調(diào)整。該X射線透射檢查裝置具有：X射線源(2)，其對試樣S1照射X射線；試樣移動機構(gòu)，其在來自X射線源的X射線的照射中使試樣向特定方向連續(xù)移動；X射線檢測器(4)，其相對于試樣設(shè)置于與X射線源相反的一側(cè)，檢測透射過試樣的X射線；標(biāo)準(zhǔn)試樣移動機構(gòu)(5)，其能夠使設(shè)置于不同于試樣的位置的標(biāo)準(zhǔn)試樣S2移動；以及配置變更機構(gòu)(6)，其能夠使X射線源和X射線檢測器與試樣和標(biāo)準(zhǔn)試樣相對移動，能夠?qū)射線源和X射線檢測器從與試樣對置的配置狀態(tài)變更到與通過標(biāo)準(zhǔn)試樣移動機構(gòu)移動的標(biāo)準(zhǔn)試樣對置的配置狀態(tài)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及能夠檢測試樣中的微小異物等并容易進行檢查的校準(zhǔn)(calibration)等調(diào)整的X射線透射檢查裝置。

背景技術(shù)

一般情況下，為了檢測試樣中的微小金屬等的異物等，使用通過對試樣照射X射線而獲取的X射線透射像進行檢查的X射線透射檢查。例如，近年來，在汽車、混合動力汽車或電動車等所采用的鋰離子二次電池中，作為正極的電極在Al膜的兩面形成有錳酸鋰膜或鈷酸鋰膜。因此，當(dāng)混入Fe或SUS等數(shù)十μm以上的異物時，可能發(fā)生短路而產(chǎn)生電池的燒毀或性能降低，在制造時，通過X射線透射檢查來檢測異物是否混入并將其去除。

作為這種檢測試樣中的異物等的X射線透射檢查裝置，公知實施在線(in-line)檢查時，對置配置X射線源和線傳感器等X射線檢測器以使得夾持向一個方向移動的試樣。例如，在專利文獻1中提出了通過利用TDI傳感器而高靈敏度地檢測微小異物的X射線異物檢查裝置。在該X射線異物檢查裝置中，使試樣的移動速度和TDI傳感器的電荷移動速度同步地進行異物的檢測。

專利文獻1：日本特開2004-257884號公報

在上述現(xiàn)有技術(shù)中殘留有以下課題。

即，在現(xiàn)有的X射線透射檢查裝置中，在想要使用預(yù)先知道了異物的尺寸和位置的標(biāo)準(zhǔn)試樣進行X射線源和X射線檢測器的調(diào)整(校準(zhǔn)等)的情況下，由于以與移動的試樣對置的方式設(shè)置X射線源和X射線檢測器，因此在代替試樣而將標(biāo)準(zhǔn)試樣設(shè)置在與試樣相同的位置上的狀態(tài)下，需要進行標(biāo)準(zhǔn)試樣的檢查。另外，在標(biāo)準(zhǔn)試樣的檢查后，也需要將試樣重新設(shè)置在原來的位置上的作業(yè)。因此，需要試樣與標(biāo)準(zhǔn)試樣的更換作業(yè)，從而存在必須使檢查作業(yè)長時間中斷的不良情況。尤其在檢查帶狀的試樣的情況下，由于以從輥到輥的方式連續(xù)地流動試樣并進行檢查，因此很難在中途中斷檢查而將試樣更換為標(biāo)準(zhǔn)試樣并進行檢查。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明就是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供能夠容易地進行基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的調(diào)整的X射線透射檢查裝置。

為了解決上述課題，本發(fā)明采用以下結(jié)構(gòu)。

即，本發(fā)明的X射線透射檢查裝置的特征在于，所述X射線透射檢查裝置具有：X射線源，其對試樣照射X射線；試樣移動機構(gòu)，其在來自所述X射線源的X射線的照射中使所述試樣向特定方向連續(xù)移動；X射線檢測器，其相對于所述試樣設(shè)置在與所述X射線源相反的一側(cè)，檢測透射過所述試樣的所述X射線；標(biāo)準(zhǔn)試樣移動機構(gòu)，其能夠使設(shè)置于不同于所述試樣的位置的標(biāo)準(zhǔn)試樣移動；以及配置變更機構(gòu)，其能夠使所述X射線源和所述X射線檢測器與所述試樣和所述標(biāo)準(zhǔn)試樣相對移動，能夠?qū)⑺鯴射線源和所述X射線檢測器從與所述試樣對置的配置狀態(tài)變更到與通過所述標(biāo)準(zhǔn)試樣移動機構(gòu)移動的所述標(biāo)準(zhǔn)試樣對置的配置狀態(tài)。

在該X射線透射檢查裝置中，由于具有能夠使X射線源和X射線檢測器與試樣和標(biāo)準(zhǔn)試樣相對移動，能夠?qū)射線源和X射線檢測器從與試樣對置的配置狀態(tài)變更到與通過標(biāo)準(zhǔn)試樣移動機構(gòu)移動的標(biāo)準(zhǔn)試樣對置的配置狀態(tài)的配置變更機構(gòu)，因此在進行基于標(biāo)準(zhǔn)試樣的校準(zhǔn)等調(diào)整時，通過配置變更機構(gòu)能夠使X射線源和X射線檢測器從作為試樣的檢查位置的行(line)線上退避而進行標(biāo)準(zhǔn)試樣的檢查，從而不會產(chǎn)生對試樣的干涉，檢查部等的維護也變得容易。因此，不需要試樣與標(biāo)準(zhǔn)試樣的更換作業(yè)，即使在多個或長條的試樣的檢查中途，也不需要將試樣從檢查線取下，從而能夠容易地進行校準(zhǔn)等調(diào)整。