[發明專利]一種坩堝蓋及其蓋合方法和坩堝

有效

• 申請號: 201710706664.3
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107502864B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 羅程遠
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅瑞芝;陳源

1.一種坩堝蓋，用于蓋合在坩堝開口端，包括蓋體，其特征在于，所述蓋體在對應所述坩堝開口端的端面壁的區域設置有吸合結構，所述吸合結構與所述坩堝開口端的所述端面壁相接觸，所述吸合結構能使所述蓋體與所述坩堝開口端吸合，以使所述蓋體對所述坩堝開口端密封蓋合；所述吸合結構包括開設在所述蓋體內的第一空腔，所述第一空腔貫通所述蓋體的厚度，所述第一空腔包括面對所述坩堝開口端的所述端面壁的第一開口和背對所述端面壁的第二開口。

2.根據權利要求1所述的坩堝蓋，其特征在于，所述吸合結構還包括彈性密封圈，所述彈性密封圈套設在所述第一開口上，所述彈性密封圈用于與所述坩堝開口端的所述端面壁相貼合，以對所述第一空腔與所述端面壁的接觸位置進行密封。

3.根據權利要求1所述的坩堝蓋，其特征在于，所述吸合結構還包括彈性塞子，所述彈性塞子蓋合在所述第二開口上，用于對所述第二開口進行密封；所述彈性塞子上開設有彈性孔，所述彈性孔能在外部擠壓力作用下開啟。

4.根據權利要求1所述的坩堝蓋，其特征在于，所述第一空腔包括至少兩個，所述第一空腔在所述蓋體上等間隔分布。

5.根據權利要求1所述的坩堝蓋，其特征在于，還包括設置在所述蓋體的背對所述坩堝開口端一側的連接件，所述連接件用于與蒸鍍腔室內的活動桿連接，所述連接件能在所述活動桿的帶動下與所述坩堝開口端脫離。

6.一種坩堝，其特征在于，包括權利要求1-5任意一項所述的坩堝蓋。

7.根據權利要求6所述的坩堝，其特征在于，還包括用于盛裝蒸鍍材料的坩堝本體，所述坩堝蓋用于蓋合在所述坩堝本體的開口端，以對所述坩堝本體的開口端密封蓋合；

所述坩堝本體的開口端的端面壁上在對應所述坩堝蓋的第一空腔的位置設置有第二空腔，所述第二空腔能在所述坩堝蓋蓋合在所述坩堝本體的開口端上后與所述第一空腔對接并貫通。

8.一種采用如權利要求1-5任意一項所述的坩堝蓋的蓋合方法，其特征在于，包括：

將蓋體蓋合在坩堝開口端；

使所述蓋體上的吸合結構與所述坩堝開口端的端面壁相接觸并吸合，以對所述坩堝開口端進行密封蓋合。

9.根據權利要求8所述的坩堝蓋的蓋合方法，其特征在于，所述使所述蓋體上的吸合結構與所述坩堝開口端的端面壁相接觸并吸合，以對所述坩堝開口端進行密封蓋合包括：

對所述吸合結構的第一空腔進行抽真空。