[發明專利]一種鐵電微波濾波器

在審

• 申請號: 201710703585.7
• 申請日: 2017-08-16
• 公開（公告）號: CN107464970A
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 李彼;劉秋香;李萬朋;唐新桂;蔣艷平
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: H01P1/207
• 分類號: H01P1/207;H01P1/215
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 趙青朵

1.一種鐵電微波濾波器，包括金屬腔體、設置在金屬腔體內的介質諧振器、復合在腔體內的Bi₂NiMnO₆薄膜器件以及設置在腔壁上的調諧螺絲；

所述Bi₂NiMnO₆薄膜器件包括依次復合的硅襯底、底電極、Bi₂NiMnO₆薄膜和頂電極。

2.根據權利要求1所述的鐵電微波濾波器，其特征在于，所述底電極包括SrRuO₃、FTO導電玻璃、ITO導電玻璃、Pt或LaNiO₃；

所述頂電極包括Au、Pt或Al。

3.根據權利要求1所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述Bi₂NiMnO₆薄膜的厚度為100nm～120nm；

所述襯底的厚度為0.5～1mm；

所述底電極的厚度為80nm～90nm。

4.根據權利要求1～3任意一項所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述Bi₂NiMnO₆薄膜器件按照以下步驟制得：

A)將LaNiO₃前驅液涂覆在襯底表面，烘干得到鍍有底電極的基底；所述LaNiO₃前驅液由La(NO₃)₃·5H₂O、NiC₄H₆O₄·4H₂O和乙二醇甲醚配制得到；

B)將Bi₂NiMnO₆前驅液涂覆底電極表面，烘干后得到鍍有鐵電前驅膜的襯底；所述Bi₂NiMnO₆前驅液由Bi(NO₃)₃·5H₂O、Ni(CH₃COO)₂·4H₂O、Mn(CH₃COO)₂·4H₂O和醋酸配制得到；

C)將鍍有鐵電前驅膜的襯底進行退火，得到鍍有鐵電薄膜的襯底；

D)在鐵電薄膜的表面鍍頂電極，得到Bi₂NiMnO₆薄膜器件。

5.根據權利要求4所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述退火在氮氣和/或氧氣氣氛下進行；

所述退火的溫度為550～700℃。

6.根據權利要求1所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述金屬腔體為長方形腔體，所述金屬腔體的長度為90～120mm；寬度為90～120mm；高度為80～120mm。

7.根據權利要求1所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述金屬腔體腔壁厚度為40～50mm。

8.根據權利要求1所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述Bi₂NiMnO₆薄膜器件復合在所述金屬腔體內部，位于所述金屬腔體的中心位置，兩端處于開路狀態。

9.根據權利要求1所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述介質諧振器的數量為3～5個；

所述介質諧振器為陶瓷介質諧振器。

10.根據權利要求1所述的鐵電薄膜濾波器，其特征在于，所述調諧螺絲與所述介質諧振器成互相垂直方向設置。