[發明專利]半導體裝置在審
| 申請號: | 201710702735.2 | 申請日: | 2017-08-16 |
| 公開(公告)號: | CN109103254A | 公開(公告)日: | 2018-12-28 |
| 發明(設計)人: | 鄧桔程;廖家陽;陳臆仁 | 申請(專利權)人: | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/78 | 分類號: | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司: | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;章侃銥 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體裝置 柵極介電層 通道區 方向延伸 環繞通道 柵極電極 環繞 | ||
【權利要求書】:
1.一種半導體裝置,包括:
一通道區,沿一方向延伸,且具有U形剖面;
一柵極介電層,位于該通道區上方;以及
一柵極電極,位于該柵極介電層的一部分和該通道區的一部分上方。
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