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[發明專利]半導體裝置在審

專利信息
申請號: 201710702735.2 申請日: 2017-08-16
公開(公告)號: CN109103254A 公開(公告)日: 2018-12-28
發明(設計)人: 鄧桔程;廖家陽;陳臆仁 申請(專利權)人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336
代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003 代理人: 李昕巍;章侃銥
地址: 中國臺*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 半導體裝置 柵極介電層 通道區 方向延伸 環繞通道 柵極電極 環繞
【權利要求書】:

1.一種半導體裝置,包括:

一通道區,沿一方向延伸,且具有U形剖面;

一柵極介電層,位于該通道區上方;以及

一柵極電極,位于該柵極介電層的一部分和該通道區的一部分上方。

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