[發(fā)明專利]半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)及該分選機(jī)中的測(cè)試支持方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710701226.8
• 申請(qǐng)日: 2015-03-04
• 公開（公告）號(hào): CN107617583A
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 咸鍾仁;金善真
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泰克元有限公司
• 主分類號(hào): B07C5/344
• 分類號(hào): B07C5/344;B07C5/02;B07C5/38
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11286
• 代理人: 孫昌浩,李盛泉

本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2015年3月4日、申請(qǐng)?zhí)枮?01510097024.8、題為“半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)及該分選機(jī)中的測(cè)試支持方法”的專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種當(dāng)測(cè)試所生產(chǎn)的半導(dǎo)體元件時(shí)使用的半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)，尤其涉及一種重新測(cè)試技術(shù)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)(以下，簡(jiǎn)稱為“分選機(jī)”)用于將通過(guò)預(yù)定的制造工藝制造的半導(dǎo)體元件從客戶托盤(customer tray)引出之后將半導(dǎo)體元件電連接于測(cè)試機(jī)(tester)，且如果測(cè)試(test)結(jié)束就根據(jù)測(cè)試結(jié)果而將半導(dǎo)體元件進(jìn)行分類而引入到空置的客戶托盤。

通常，分選機(jī)是以1批量(Lot)的物量單位執(zhí)行測(cè)試工藝。此時(shí)，隨著執(zhí)行針對(duì)1批量的新的測(cè)試，從1批量的物量中分類出作為良品的半導(dǎo)體元件、需要重新測(cè)試(retest)的半導(dǎo)體元件、以及無(wú)需重新測(cè)試的作為不良品的半導(dǎo)體元件。另外，需要重新測(cè)試的半導(dǎo)體元件將會(huì)通過(guò)重新測(cè)試工序而得到重新測(cè)試而被分類。

以往，當(dāng)新的測(cè)試完畢時(shí)以手動(dòng)方式供應(yīng)重新測(cè)試物量而執(zhí)行了重新測(cè)試工序。在這種情況下，管理員的手動(dòng)作業(yè)不方便，并由于時(shí)間延遲等而存在處理速度及容量下降的問(wèn)題。

于是，提出一種如韓國(guó)公開專利10-2002-0077596號(hào)(發(fā)明名稱：測(cè)試分選機(jī)的重新測(cè)試方法；以下稱為“現(xiàn)有技術(shù)”)那樣可自動(dòng)實(shí)現(xiàn)重新測(cè)試的技術(shù)。

在現(xiàn)有技術(shù)中，將需要測(cè)試的半導(dǎo)體元件全部被引出之后的空置客戶托盤利用為良品物量或重新測(cè)試物量的裝載用途。因此，只能作為一種適用范圍僅限于需要測(cè)試的物量較少的情形的裝置而使用。而且，托盤移送器(現(xiàn)有技術(shù)中命名成符號(hào)為“80”的托盤轉(zhuǎn)移器(Tray Transfer))的作用也有限，且使用頻率也相應(yīng)程度少，從而導(dǎo)致裝置的高效運(yùn)用性降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種增加托盤移送器的功能擴(kuò)展及其擴(kuò)展所需的構(gòu)成要素，并提高托盤移送器的利用率而讓用于自動(dòng)重新測(cè)試的物流得以順利進(jìn)行的技術(shù)。

為了達(dá)到如上所述的目的，根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)，包括：測(cè)試批量堆垛機(jī)，用于收納裝載有需要測(cè)試的半導(dǎo)體元件的客戶托盤；測(cè)試支持部，從由所述測(cè)試批量堆垛機(jī)向引出位置移動(dòng)過(guò)來(lái)的客戶托盤中引出半導(dǎo)體元件之后將該半導(dǎo)體元件電連接于測(cè)試機(jī)側(cè)，并根據(jù)測(cè)試結(jié)果而將半導(dǎo)體元件進(jìn)行分類而引入到位于引入位置的客戶托盤或位于重新測(cè)試位置的客戶托盤，其中，所述引出位置是將需要測(cè)試的半導(dǎo)體元件從客戶托盤引出的位置，所述引入位置是將通過(guò)測(cè)試的半導(dǎo)體元件引入到客戶托盤的位置，所述重新測(cè)試位置是將作為重新測(cè)試對(duì)象的半導(dǎo)體元件引入到客戶托盤的位置；第一收納堆垛機(jī)，用于收納所裝載的半導(dǎo)體元件被所述測(cè)試支持部全部引出之后經(jīng)過(guò)收納位置而到來(lái)的客戶托盤，其中，所述收納位置是所裝載的半導(dǎo)體元件被全部引出的空置的客戶托盤從引出位置移送過(guò)來(lái)的位置；第二收納堆垛機(jī)，用于收納來(lái)自所述引入位置的客戶托盤；第三收納堆垛機(jī)，用于收納來(lái)自所述重新測(cè)試位置的客戶托盤；等待堆垛機(jī)，用于收納將被供應(yīng)到等待位置的空置的客戶托盤，所述等待位置用于使將被移送到所述引入位置或重新測(cè)試位置的客戶托盤等待；托盤移送器，用于在引出位置、引入位置、重新測(cè)試位置、等待位置之間移送客戶托盤，所述托盤移送器包括：拾取器，用于拾取客戶托盤；升降器，用于使所述拾取器升降；水平移動(dòng)器，用于將所述拾取器移動(dòng)到引出位置、引入位置、重新測(cè)試位置、等待位置的上方。

所述拾取器具有：防脫罩，用于防止裝載于客戶托盤的半導(dǎo)體元件的脫離。

所述分選機(jī)還包括：重新測(cè)試批量堆垛機(jī)，用于收納裝載有作為重新測(cè)試對(duì)象的半導(dǎo)體元件的客戶托盤，其中，裝載有作為重新測(cè)試對(duì)象的半導(dǎo)體元件的客戶托盤借助于所述托盤移送器而被移送到所述重新測(cè)試批量堆垛機(jī)的后方位置，然后被收納于所述重新測(cè)試批量堆垛機(jī)。

所述分選機(jī)還包括：重新測(cè)試失敗堆垛機(jī)，用于收納裝載有重新測(cè)試過(guò)程中失敗的半導(dǎo)體元件的客戶托盤。