[發明專利]檢查裝置

有效

• 申請號: 201710701028.1
• 申請日: 2017-08-16
• 公開（公告）號: CN107796829B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 渡邊勝博;安保稜太
• 申請（專利權）人: 株式會社理光
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王增強

本發明涉及檢查裝置，其目的在于提供能夠以良好的精度來檢查產品缺陷的檢查裝置。本發明的檢查裝置具有：光源(10)，向被檢物(P)照射光(L)；投影部(30)，供照射到被檢物(P)上的光(L)投影；攝像部(40)，被設置在相對于投影部(30)與光源(10)相反的一側，用于取得被投影到投影部(30)上的光(L)，用以作為圖像信息，投影部(30)擴散光(L)，用以使得光(L)的照度保持不變。

技術領域

本發明涉及檢查裝置。

背景技術

在鏡頭等透明光學元件的檢查中使用如專利文獻1至3等公開的檢查裝置。檢查裝置向被檢物照射光，并使得該照射光投影，用以檢測被檢物有無瑕疵或細微的凹凸之類的缺陷。

專利文獻1JP特許第4238010號公報

專利文獻2JP特許第5255763號公報

專利文獻1JP特開平08-297096號公報

這類檢查裝置為了以良好的精度來檢測缺陷的形狀或大小，采用如下方法，即使得投影部為半透明，用照相機等攝像裝置來拍攝缺陷形成的影子的等光強度變化。

但是，如果只是單單使用半透明的投影部，則會發生光源強度分布差異造成產生光暈而使得缺陷難以辨別的問題。

發明內容

鑒于上述問題，本發明一種檢查裝置，其目的在于以良好的精度來檢查產品缺陷。

為了達到上述目的，本發明的檢查裝置具有：光源，向被檢物照射光；投影部，供照射到被檢物上的所述光投影；攝像部，被設置在相對于所述投影部與所述光源相反的一側，用于取得被投影到所述投影部上的所述光，用以作為圖像信息，所述投影部擴散所述光，用以使得射往所述攝像部的所述光的照度保持不變。

本發明的效果在于提供一種能夠以良好的精度來檢查產品缺陷的檢查裝置。

附圖說明

圖1是本實施方式涉及的檢查裝置構成的一例平面示意圖。

圖2是一例圖1所示驅動部的構成的示意圖。

圖3是本發明比較例的示意圖。

圖4(a)-(c)是一例本實施方式中圖像信息的觀察方法的示意圖。

圖5(a)-(b)是一例經過圖1所示透鏡擴散板透射的光的路徑圖。

圖6(a)-(c)是顯示驅動部動作引起光量不均發生變化的一例示意圖。

圖7(a)-(b)是在使得圖6(a)-(c)所示驅動部動作時產生的光量不均的一例示意圖。

圖8是一例作為本發明的變形例，被檢物為反射體時的檢查裝置構成的示意圖。

具體實施方式

第一實施方式

圖1是一例本實施方式涉及的檢查裝置、即檢查裝置1的平面構成示意圖。

檢查裝置1具有：光源部10，用于向檢查對象物即被檢物P，照射照明光即光L；以及，透鏡擴散板30，用于作為投影部，供經過被檢物P透射的光L投影。

檢查裝置1還具有：照相機40，作為攝像部，被設置在相對于透鏡擴散板30與光源10相反一側，用來取得被投影到透鏡擴散板30上的光L，用以作為圖像信息；以及，透鏡20，被配置在被檢物P和光源10之間，用于使得光L成為平行光。