[發(fā)明專利]檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710701028.1
• 申請日: 2017-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN107796829B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 渡邊勝博;安保稜太
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社理光
• 主分類號(hào): G01N21/958
• 分類號(hào): G01N21/958
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 王增強(qiáng)

1.一種檢查裝置，其中具備：

光源，用于向被檢物照射光；

投影部，供照射到被檢物上的所述光投影；

驅(qū)動(dòng)部，用于在垂直于所述光的入射方向的第一方向、以及同時(shí)垂直于所述第一方向和所述入射方向的第二方向上驅(qū)動(dòng)所述投影部；

攝像部，被設(shè)置在相對于所述投影部與所述光源相反一側(cè)，用于取得被投影到所述投影部上的所述光，用以作為圖像信息，

其中，所述投影部擴(kuò)散所述光，用以均化光的照度，并且

其中，所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)所述投影部，使得投影部實(shí)行沒有恒定轉(zhuǎn)動(dòng)中心的周期性運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述檢查裝置，其特征在于，所述投影部的擴(kuò)散角大于所述攝像部所具有的鏡頭的視角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，所述投影部的擴(kuò)散角是該投影部的中心照度的半值所對應(yīng)的半峰全寬，其范圍為70至90deg。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的檢查裝置，其特征在于，所述投影部是表面形成凹凸的透鏡擴(kuò)散板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢查裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)部使得所述投影部移動(dòng)的距離大于所述凹凸的間距，且大于所述攝像部的分辨率的兩倍。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)所述投影部，使得該投影部實(shí)行利薩如運(yùn)動(dòng)，即分別在所述第一方向和所述第二方向上周期性轉(zhuǎn)動(dòng)，該利薩如運(yùn)動(dòng)的周期小于所述攝像部的曝光時(shí)間。