[發(fā)明專(zhuān)利]微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)及微透鏡陣列的檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710693965.7
• 申請(qǐng)日: 2017-08-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109387353B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜鵬;周萌;李屹
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳光峰科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01M11/00
• 分類(lèi)號(hào): G01M11/00
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 唐芳芳

1.一種微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括：

光源裝置，用于發(fā)射光線(xiàn)；

待測(cè)微透鏡陣列，用于接收并透射所述光線(xiàn)；

光闌，包含一具有預(yù)設(shè)孔徑的通光孔，所述通光孔用于透射待測(cè)微透鏡陣列出射的光線(xiàn)；

光通量測(cè)試裝置，用于分別測(cè)試所述光線(xiàn)通過(guò)所述光闌前的第一光通量及通過(guò)所述光闌后的第二光通量；

分析裝置，用于計(jì)算所述第二光通量與所述第一光通量的比值，并用于對(duì)所述比值與一比例閾值做比較，當(dāng)所述比值大于等于所述比例閾值時(shí)，所述待測(cè)微透鏡陣列質(zhì)量合格。

2.如權(quán)利要求1所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)還包括中繼裝置，所述中繼裝置設(shè)置于待測(cè)微透鏡陣列與所述光闌之間，用于將待測(cè)微透鏡陣列出射的光線(xiàn)會(huì)聚至所述光闌的通光孔。

3.如權(quán)利要求1所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光源裝置包括激光器及擴(kuò)束裝置，所述擴(kuò)束裝置用于增大所述激光器發(fā)出的激光光束的發(fā)散角，使得所述光源裝置出射的光線(xiàn)能夠照射待測(cè)微透鏡陣列通光口徑上的更大的范圍。

4.如權(quán)利要求3所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述擴(kuò)束裝置為散射片。

5.如權(quán)利要求4所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述擴(kuò)束裝置與待測(cè)微透鏡陣列之間的距離L滿(mǎn)足：

L＝H/2tan(θ)

使得所述光源裝置發(fā)出的光線(xiàn)照射至待測(cè)微透鏡陣列上的光斑直徑與待測(cè)微透鏡陣列的通光口徑H的差值落入第一預(yù)設(shè)誤差范圍內(nèi)，

其中，

θ≤arcsin(1/2F#)

F#＝F/d

θ為所述光源裝置發(fā)出光線(xiàn)的發(fā)散角，F(xiàn)為待測(cè)微透鏡陣列的焦距，d為待測(cè)微透鏡陣列上每個(gè)微透鏡的直徑。

6.如權(quán)利要求3所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述擴(kuò)束裝置包括一凹透鏡與一凸透鏡，所述激光光束依次穿過(guò)所述凹透鏡與所述凸透鏡得到所述光線(xiàn)。

7.如權(quán)利要求6所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述凹透鏡的焦距f1與所述凸透鏡的焦距f2滿(mǎn)足：

f1/f2＝h/H

使得所述光線(xiàn)照射至待測(cè)微透鏡陣列上的光斑直徑與待測(cè)微透鏡陣列的通光口徑的差值落入第一預(yù)設(shè)誤差范圍內(nèi)，其中，h為所述激光光束的直徑，H為待測(cè)微透鏡陣列通光口徑的高度。

8.如權(quán)利要求3所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述擴(kuò)束裝置包括擴(kuò)束微透鏡陣列，所述擴(kuò)束微透鏡陣列與待測(cè)微透鏡陣列的通光口徑的差值落入第二預(yù)設(shè)誤差范圍內(nèi)。

9.如權(quán)利要求8所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述擴(kuò)束微透鏡陣列為單復(fù)眼透鏡。

10.一種微透鏡陣列的檢測(cè)方法，其特征在于，利用如權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的微透鏡陣列檢測(cè)系統(tǒng)，若所述第二光通量與所述第一光通量之比大于等于比例閾值，則待測(cè)微透鏡陣列合格。