[發(fā)明專利]蒸鍍坩堝及蒸鍍系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710692335.8
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN107686968A
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐超
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)44300
• 代理人: 黃威

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種蒸鍍坩堝以及一種包括所述蒸鍍坩堝的蒸鍍系統(tǒng)。

背景技術(shù)

有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)顯示器具有亮度高、響應(yīng)快、能耗低、可彎曲等一系列的優(yōu)點，在當(dāng)今的平板顯示器市場中占據(jù)了越來越重要的地位，代表了下一代顯示器的發(fā)展趨勢；而有機發(fā)光二極管與液晶顯示(Liquid Crystal Display,LCD)相比，最大的優(yōu)勢就是可制備大尺寸、超薄、柔性、透明。

目前OLED比較成熟的工藝是使用小分子蒸鍍方式，但是在目前的蒸鍍制程中，點源通常是采用圓柱形坩堝且加熱絲為一體式加熱，坩堝內(nèi)的溫差是固定的，坩堝縱向長度越長，溫差越難控制，所以一段式加熱會造成坩堝上端和下端溫差較大的問題，從而使得材料的有效使用率在10％～80％之間，量產(chǎn)中會造成大量的材料浪費。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種蒸鍍坩堝以及一種包括所述蒸鍍坩堝的蒸鍍系統(tǒng)，不僅可以有效改善目前蒸鍍系統(tǒng)中蒸鍍坩堝橫向和縱向溫差過大的問題，而且可以減少蒸鍍材料的浪費，提高材料的利用率，降低生產(chǎn)成本。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種蒸鍍坩堝，包括：坩堝本體和纏繞在所述坩堝本體四周的至少兩個加熱裝置；

所述坩堝本體包括至少兩個筒狀結(jié)構(gòu)，每個所述筒狀結(jié)構(gòu)具有不同的直徑，所述坩堝本體用于盛放蒸鍍材料；

每個所述筒狀結(jié)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置一個所述加熱裝置，所述加熱裝置對所述對應(yīng)筒狀結(jié)構(gòu)中的蒸鍍材料進行加熱。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述蒸鍍坩堝還包括至少兩個蒸鍍篩片，每一個所述蒸鍍篩片與一個所述筒狀結(jié)構(gòu)相對應(yīng)，所述蒸鍍篩片設(shè)置于其對應(yīng)筒狀結(jié)構(gòu)的頂端，用于將所述坩堝本體內(nèi)蒸鍍材料的氣流變的更加均勻。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述蒸鍍篩片與所述坩堝本體均采用鈦制備。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，每一個所述筒狀結(jié)構(gòu)為一個加熱區(qū)域，所述坩堝本體包括三個加熱區(qū)域：第一加熱區(qū)域、第二加熱區(qū)域、第三加熱區(qū)域，所述第一加熱區(qū)域為所述坩堝本體底部區(qū)域，所述第二加熱區(qū)域為所述坩堝本體中部區(qū)域，所述第三加熱區(qū)域為所述坩堝本體上部區(qū)域，所述第一加熱區(qū)域的直徑＜第二加熱區(qū)域的直徑＜第三加熱區(qū)域的直徑。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述第一加熱區(qū)域的高度占所述坩堝本體高度的10％，所述第三加熱區(qū)域的高度占所述坩堝本體高度的15％。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述蒸鍍篩片包括第一蒸鍍篩片、第二蒸鍍篩片和第三蒸鍍篩片，所述第一蒸鍍篩片與所述第一加熱區(qū)域相對應(yīng)，第二蒸鍍篩片與所述第二加熱區(qū)域相對應(yīng)，所述第三蒸鍍篩片與所述第三加熱區(qū)域相對應(yīng)，所述第一蒸鍍篩片的面積＜所述第二蒸鍍篩片的面積＜所述第三蒸鍍篩片的面積。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述第一蒸鍍篩片的圓孔直徑＞所述第二蒸鍍篩片的圓孔直徑＞所述第三蒸鍍篩片的圓孔直徑。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述加熱裝置包括延縱向方向設(shè)置的第一加熱裝置、第二加熱裝置和第三加熱裝置，每個所述加熱裝置設(shè)置在其對應(yīng)加熱區(qū)域的四周，能夠?qū)崿F(xiàn)所述第一加熱區(qū)域、第二加熱區(qū)域、第三加熱區(qū)域的分開均勻加熱。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述加熱裝置還包括溫度測控部分，用以分別測控所述至少兩個加熱區(qū)域的加熱溫度。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供一種蒸鍍系統(tǒng)，所述蒸鍍系統(tǒng)包括蒸鍍坩堝，所述蒸鍍坩堝為任一項上述的蒸鍍坩堝。

本發(fā)明提供一種蒸鍍坩堝以及一種包括所述蒸鍍坩堝的蒸鍍系統(tǒng)，不僅可以有效改善目前蒸鍍系統(tǒng)中蒸鍍坩堝橫向和縱向溫差過大的問題，而且可以減少蒸鍍材料的浪費，提高材料的利用率，降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

為了更清楚地說明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的蒸鍍坩堝結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例的蒸鍍坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例的蒸鍍坩堝的又一結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明實施例的蒸鍍篩片的結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實施方式