[發明專利]碳酸氫氣水及其在基板表面的應用在審
| 申請號： | 201710692205.4 | 申請日： | 2017-08-14 |
| 公開（公告）號： | CN107619098A | 公開（公告）日： | 2018-01-23 |
| 發明（設計）人： | 李在龍 | 申請（專利權）人： | MAG技術株式會社;天津高登泰克電子有限公司;李茂根 |
| 主分類號： | C02F1/70 | 分類號： | C02F1/70;H01L21/02 |
| 代理公司： | 天津盛理知識產權代理有限公司12209 | 代理人： | 高璇 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 碳酸 氫氣 及其 表面 應用 | ||
【權利要求書】：
1.一種碳酸氫氣水，其特征在于：通過氫氣水中溶解二氧化碳而成，制備后的碳酸氫氣水pH值為4.0～6.8,氧化還原電位為-50mv～-650mv,導電率為0.072uS/cm～80uS/cm。
2.根據權利要求1所述的碳酸氫氣水，其特征在于：所述氫氣水是采用純水制得，制備后的氫氣水的pH值為5.5～6.8,氧化還原電位為-200mV～650mV,氫氣溶解濃度為0.1ppm～2.0ppm。
3.根據權利要求1所述的碳酸氫氣水，其特征在于：所述純水是溶解純水或超純水或電解純水或超純水，純水的溶解導電率為50uS/㎝。
4.一種如權利要求1所述的碳酸氫氣水的基板表面的應用，其特征在于：通過碳酸氫氣水對基板表面進行清洗，其清洗步驟是：
⑴將基板按照規定的旋轉速度進行旋轉清洗，此時，基板的轉速為80～300rpm；
⑵利用噴嘴將碳酸氫氣水噴灑在旋轉的基板表面，向碳酸氫氣水種添加1～3兆赫茲的超聲波，碳酸氫氣水的噴灑持續5～10分鐘。
5.根據權利要求4所述的碳酸氫氣水的基板表面的應用，其特征在于：步驟⑵中，利用高頻震動器對所述基板進行振動。
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