[發(fā)明專利]一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710690130.6
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN107393849B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設計）人: 林寶劍;唐亮;程寅亮;關振華;馮正勝
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產(chǎn)權(quán)事務所 53113
• 代理人: 張璽

本發(fā)明公開了一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，包括限噴箱、以及依次固定于限噴箱內(nèi)腔中的導液管、限流塊和分流箱；所述限流塊開設有插槽，所述插槽中活動插設有擋板，所述擋板固定連接有電動推桿；所述分流箱側(cè)壁對應導液孔處開設有分流孔，所述分流箱的內(nèi)腔底壁固定有分流板，所述分流箱底壁與限噴箱底壁貫通開設有泄流孔，且所述泄流孔設置于分流板和分流孔之間，所述分流箱遠離分流孔一側(cè)側(cè)壁與限噴箱側(cè)壁貫通開設有噴液孔。本發(fā)明通過限流塊內(nèi)擋板的作用，當處于噴涂兩片硅片的中間空隙時間時，使刻蝕液從泄流孔流出，阻止了刻蝕液飛濺到硅片擴散面情況的發(fā)生，大大提高硅片刻蝕質(zhì)量，減小經(jīng)濟損失。

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及硅片刻蝕技術(shù)領域，具體為一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置。

背景技術(shù)

太陽能電池片的制造過程需要經(jīng)過很多個步驟，其中對硅片的刻蝕工藝也是必不可少的一部分，硅片在刻蝕過程中，需要使用刻蝕液對硅片除了擴散面以外的所有面進行刻蝕，目前常用的刻蝕槽機器均采用粘液滾輪，來對硅片進行刻蝕，通過粘液滾輪將刻蝕液粘在滾輪上，然后滾輪將刻蝕液傳遞到硅片背面完成刻蝕，對于硅片的側(cè)壁采用噴嘴噴涂刻蝕液進行刻蝕，從而可以很好的將除了擴散面以外的四個側(cè)壁面均刻蝕到，大大提高了硅片刻蝕質(zhì)量。

但是對于采用噴嘴對硅片側(cè)壁進行刻蝕的方法，存在以下較為明顯的缺陷：因為硅片在刻蝕槽內(nèi)的滾輪上進行傳送運動，每兩塊硅片間均設置有間隔，所以當噴嘴向上一塊硅片的側(cè)壁進行噴涂刻蝕后，在噴涂到下一塊硅片前，此段中間空隙的時間，噴嘴噴出的刻蝕液會直接噴涂到刻蝕槽液面上，對液面造成沖擊，從而導致液面刻蝕液飛濺，也就會導致刻蝕液濺起，落到硅片的擴散面上造成刻蝕，進而生產(chǎn)出大量劣質(zhì)硅片，嚴重影響硅片刻蝕質(zhì)量，造成巨大經(jīng)濟損失。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，包括限噴箱、以及依次固定于限噴箱內(nèi)腔中的導液管、限流塊和分流箱；

所述限噴箱側(cè)壁對應導液管處開設有進液孔，所述限流塊開設有插槽，所述插槽內(nèi)側(cè)壁對應導液管對稱開設有導液孔，所述插槽中活動插設有擋板，所述擋板固定連接有電動推桿；

所述分流箱側(cè)壁對應導液孔處開設有分流孔，所述分流箱的內(nèi)腔底壁固定有分流板，所述分流箱底壁與限噴箱底壁貫通開設有泄流孔，且所述泄流孔設置于分流板和分流孔之間；

所述分流箱遠離分流孔一側(cè)側(cè)壁與限噴箱側(cè)壁貫通開設有噴液孔。

優(yōu)選的，所述擋板外壁套設有密封層。

優(yōu)選的，所述分流板遠離泄流孔一端固定有輔助塊。

優(yōu)選的，所述限噴箱外側(cè)壁對應噴液孔處固定有噴射頭，所述噴射頭遠離噴液孔一端開設有噴射孔。

優(yōu)選的，所述分流板與噴液孔之間活動設置有緩沖板，所述緩沖板下端固定有彈簧。

優(yōu)選的，所述緩沖板側(cè)壁均固定有密封層。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明中刻蝕液從進液孔進入到限噴箱內(nèi)，然后通過導液管的傳遞作用，進入到限流塊的導液孔中，通過電動推桿帶動限流塊內(nèi)擋板上下移動，起到調(diào)節(jié)刻蝕液流量大小的作用，從而對刻蝕液進入分流孔的流量大小進行控制；通過對刻蝕液進入到分流箱內(nèi)的流量大小進行控制，控制刻蝕液流動到分流板的兩側(cè)，當刻蝕液流量小時，刻蝕液從分流孔進入到分流箱內(nèi)時，根據(jù)刻蝕液自身重力落入到泄流孔一側(cè)，然后從泄流孔向下流出，當刻蝕液流量大時，刻蝕液從分流孔進入到分流箱內(nèi)時，根據(jù)刻蝕液自身重力，能夠落入到噴液孔一側(cè)，然后從噴液孔噴出，進行刻蝕。