[發(fā)明專利]一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710690130.6
• 申請(qǐng)日: 2017-08-14
• 公開（公告）號(hào): CN107393849B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林寶劍;唐亮;程寅亮;關(guān)振華;馮正勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 通威太陽(yáng)能（安徽）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 53113
• 代理人: 張璽

1.一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，包括限噴箱(1)、以及依次固定于限噴箱(1)內(nèi)腔中的導(dǎo)液管(2)、限流塊(3)和分流箱(4)，其特征在于：

所述限噴箱(1)側(cè)壁對(duì)應(yīng)導(dǎo)液管(2)處開設(shè)有進(jìn)液孔(5)，所述限流塊(3)開設(shè)有插槽(31)，所述插槽(31)內(nèi)側(cè)壁對(duì)應(yīng)導(dǎo)液管(2)對(duì)稱開設(shè)有導(dǎo)液孔(6)，所述插槽(31)中活動(dòng)插設(shè)有擋板(7)，所述擋板(7)固定連接有電動(dòng)推桿(8)；

所述分流箱(4)側(cè)壁對(duì)應(yīng)導(dǎo)液孔(6)處開設(shè)有分流孔(10)，所述分流箱(4)的內(nèi)腔底壁固定有分流板(9)，所述分流箱(4)底壁與限噴箱(1)底壁貫通開設(shè)有泄流孔(11)，且所述泄流孔(11)設(shè)置于分流板(9)和分流孔(10)之間；

所述分流箱(4)遠(yuǎn)離分流孔(10)一側(cè)側(cè)壁與限噴箱(1)側(cè)壁貫通開設(shè)有噴液孔(12)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，其特征在于：所述擋板(7)外壁套設(shè)有密封層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，其特征在于：所述分流板(9)遠(yuǎn)離泄流孔(11)一端固定有輔助塊(91)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，其特征在于：所述限噴箱(1)外側(cè)壁對(duì)應(yīng)噴液孔(12)處固定有噴射頭(13)，所述噴射頭(13)遠(yuǎn)離噴液孔(12)一端開設(shè)有噴射孔(131)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，其特征在于：所述分流板(9)與噴液孔(12)之間活動(dòng)設(shè)置有緩沖板(14)，所述緩沖板(14)下端固定有彈簧(15)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種噴涂式刻蝕槽用限噴裝置，其特征在于：所述緩沖板(14)側(cè)壁均固定有密封層。