[發明專利]一種用于芯片檢測的背景光源結構在審
| 申請號： | 201710687486.4 | 申請日： | 2017-08-11 |
| 公開（公告）號： | CN107478153A | 公開（公告）日： | 2017-12-15 |
| 發明（設計）人： | 高會軍;楊憲強;許超;白立飛;孫光輝;于金泳 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/26;F21V7/00 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 芯片 檢測 背景 光源 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于芯片檢測的背景光源結構，其特征在于，包括光源(1)、一號玻璃鏡(2)和二號玻璃鏡(4)；
所述光源(1)發出的光經過一號玻璃鏡(2)反射形成一次反射光，一次反射光照射芯片(3)后，未被芯片(3)遮擋的一次反射光經過二號玻璃鏡(4)反射形成二次反射光后被相機(5)接收。
2.根據權利要求1所述的一種用于芯片檢測的背景光源結構，其特征在于，光源(1)發出的光所在的光路與相機(5)接收二次反射光的光軸平行。
3.根據權利要求2所述的一種用于芯片檢測的背景光源結構，其特征在于，光源(1)發出的光所在的光路與一號玻璃鏡(2)所在的平面的夾角為45°。
4.根據權利要求2所述的一種用于芯片檢測的背景光源結構，其特征在于，相機(5)接收二次反射光的光軸與二號玻璃鏡(4)所在平面的夾角為45°。
5.根據權利要求1所述的一種用于芯片檢測的背景光源結構，其特征在于，所述光源(1)包括多個LED燈；
多個LED燈均設置在同一平面上。
6.根據權利要求1所述的一種用于芯片檢測的背景光源結構，其特征在于，還包括芯片固定架(6)；
所述芯片固定架(6)用于固定芯片(3)，并且芯片固定架(6)設置的方向與一次反射光的光路平行。
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