[發(fā)明專利]柔性薄膜電池及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710684582.3 | 申請日: | 2017-08-11 |
| 公開(公告)號: | CN107994079A | 公開(公告)日: | 2018-05-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳騰 | 申請(專利權(quán))人: | 北京漢能光伏投資有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/0216 | 分類號: | H01L31/0216;H01L31/054;H01L31/0236;H01L31/0392;H01L31/18 |
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| 地址: | 100107 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 柔性 薄膜 電池 及其 制備 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及柔性薄膜電池技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種具有陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池及其制備方法。
背景技術(shù)
目前晶硅電池具有較高的光電轉(zhuǎn)換效率,其部分歸功于晶硅可利用有效的工藝方法得到表面陷光結(jié)構(gòu),例如單晶硅利用堿溶液在表面形成金字塔陷光結(jié)構(gòu),多晶硅利用酸溶液在表面形成橢球狀陷光結(jié)構(gòu),入射光在具有陷光結(jié)構(gòu)的表面可進(jìn)行二次反射吸收,從而有效的降低了入射光的反射率。而銅銦鎵硒(CIGS)等柔性薄膜電池由于其材料和工藝難度等原因,大部分的表面并沒有陷光結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),從而不利于入射光的高效利用,光電轉(zhuǎn)化效率亟需提高;有極少量的柔性薄膜電池雖在透明導(dǎo)電層上形成了陷光結(jié)構(gòu),但由于透明導(dǎo)電層的厚度較小(300-800nm),一方面使得陷光結(jié)構(gòu)的制備工藝復(fù)雜繁瑣,另一方面,由此得到的陷光結(jié)構(gòu)帶來的光利用率和光電轉(zhuǎn)化效率的提高均不明顯。因此,研發(fā)一種工藝簡單、又能夠明顯提高光利用率和光電轉(zhuǎn)化效率的柔性薄膜電池,具有重要的現(xiàn)實(shí)意義和市場應(yīng)用價值。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題,提供一種柔性薄膜電池及其制備方法,該柔性薄膜電池具有陷光結(jié)構(gòu),可以提高入射光的利用率,且能夠有效提高柔性薄膜電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,第一方面,本發(fā)明提供了一種柔性薄膜電池,該柔性薄膜電池包括柔性襯底和依次設(shè)置在所述柔性襯底上的背電極層、光吸收層、緩沖層、窗口層、導(dǎo)電層和上電極層,所述柔性襯底、所述背電極層、所述光吸收層、所述緩沖層、所述窗口層和所述導(dǎo)電層均具有陷光結(jié)構(gòu)。
第二方面,本發(fā)明提供了一種柔性薄膜電池的制備方法,該方法包括:
(1)在柔性襯底上制備陷光結(jié)構(gòu);
(2)在步驟(1)得到的柔性襯底上依次形成背電極層、光吸收層、緩沖層、窗口層、導(dǎo)電層和上電極層。
本發(fā)明的具有陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池可以提高入射光的利用率,且能夠有效提高柔性薄膜電池的光電轉(zhuǎn)換效率。具體地,本發(fā)明通過在柔性襯底上形成陷光結(jié)構(gòu)(對柔性襯底表面形貌進(jìn)行改進(jìn),使其表面具有凸起和凹坑的形貌),使得形成在柔性襯底上的各層(包括背電極層、光吸收層、緩沖層、窗口層和導(dǎo)電層)也均具有陷光結(jié)構(gòu),即最終制備形成的柔性薄膜電池表面具有一定的凹凸陷光結(jié)構(gòu),對入射光形成二次反射,兼?zhèn)湎莨庾饔煤捅砻鏀U(kuò)展作用,能夠有效增加光利用率,同時凹凸形貌也能增加電池的有效表面積,有利于提高光電轉(zhuǎn)換效率,從而獲得高效電池。
其中,與現(xiàn)有的不具備陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池相比,本發(fā)明的具有陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池的反射率降低了6-13%,光電轉(zhuǎn)換效率提高了0.5-3%,根據(jù)一種優(yōu)選的實(shí)施方式(控制位于柔性襯底上的多個凸起和/或凹坑的高度為3-8μm、柔性襯底上的多個凸起和/或凹坑的任意面與水平面所成銳角為60°-90°、柔性襯底上的多個凸起和/或凹坑的寬度為1-10μm、柔性襯底上的多個凸起的間隔為1-3μm,柔性襯底上的多個凹坑的間隔為1-3μm),本發(fā)明的具有陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池的反射率降低了10-13%,光電轉(zhuǎn)換效率提高了1.5-3%。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)知,在現(xiàn)有柔性薄膜電池的基礎(chǔ)上,提高1%的光電轉(zhuǎn)換效率是很難實(shí)現(xiàn)的,也就是說,本發(fā)明的具有陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池,在光電轉(zhuǎn)換效率上獲得了顯著提高。
附圖說明
圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1制備得到的具有陷光結(jié)構(gòu)的不銹鋼襯底的軸測圖。
圖2是圖1所示的不銹鋼襯底沿A-A’方向的剖面示意圖。
圖3是本發(fā)明的實(shí)施例1制備得到的具有陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖,其中箭頭表示光的反射路徑。
圖4是圖3所示的柔性薄膜電池沿B-B’方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖,其中,上電極層在導(dǎo)電層上間隔分布。
圖5是本發(fā)明的實(shí)施例2制備得到的具有陷光結(jié)構(gòu)的鈦襯底的剖面示意圖。
圖6是本發(fā)明的實(shí)施例2制備得到的具有陷光結(jié)構(gòu)的柔性薄膜電池的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標(biāo)記
1為柔性襯底,2為鈦?zhàn)钃鯇樱?為背電極層,4為光吸收層,5為緩沖層,6為窗口層,7為導(dǎo)電層,8為上電極層。
具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的各實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的闡述。然而,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解,在本發(fā)明各實(shí)施方式中,為了使讀者更好地理解本發(fā)明而提出了許多技術(shù)細(xì)節(jié)。但是,即使沒有這些技術(shù)細(xì)節(jié)和基于以下各實(shí)施方式的種種變化和修改,也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明各權(quán)利要求所要求保護(hù)的技術(shù)方案。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





