[發明專利]用于制造液體噴射頭的方法

有效

• 申請號: 201710682892.1
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN107718882B
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 魚橋邦仁;永田真吾;藤井謙兒;山室純;笹木弘司;松本圭司;柳沼誠一郎;村上遼太郎;中野智彥;永井正隆
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 11038 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 張勁松<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發明公開了用于制造液體噴射頭的方法。用于制造液體噴射頭的方法包括：在基板上設置負型的第一感光樹脂層；通過選擇性地曝光所述第一感光樹脂層來形成流路的圖案；在所述第一感光樹脂層上設置負型的第二感光樹脂層；在所述第二感光樹脂層上設置負型的第三感光樹脂層；通過選擇性地曝光所述第二和第三感光樹脂層來形成噴射端口的圖案；使所述第一、第二和第三感光樹脂層顯影；在顯影之后在至少所述第三感光樹脂層上照射活化能量線；以及在活化能量線的照射之后熱固化所述第一、第二和第三感光樹脂層。

技術領域

本公開涉及制造液體噴射頭的方法。

背景技術

噴射液體的液體噴射頭的代表性示例包括應用到通過在記錄介質上噴射墨水來執行記錄的噴墨記錄系統的墨水噴射頭。一般地，墨水噴射頭包括用于噴射墨水的噴射端口、與噴射端口連通的液體室和流路以及施加用于通過噴射端口噴射墨水的能量的能量產生元件。

通過驅動能量產生元件，墨水噴射頭通過噴射端口將墨水作為液滴噴射以執行打印。因此，噴射端口的尺寸和形狀對墨水噴射性能具有影響。近年來，墨水噴射頭正在變得微細化，并且能夠噴射5pl或更少墨水的高清噴射端口以及其中流路的高度被減小并且噴射端口的長度被縮短的薄噴射端口形成部件被使用。

近年來，流路和噴射端口的制造過程正在變得多樣化。例如，制造過程包括在在流路形成部件中形成流路之后將其中形成噴射端口的板部件粘附到流路形成部件的方法、以及在在由正型材料形成的流路模子上涂布負型(negative)材料并且在負型材料中形成噴射端口之后去除由正型材料形成的流路模子的方法。

日本專利公開No.4-216951公開了用于通過在形成流路的第一感光樹脂層與形成噴射端口的第二感光樹脂之間創建對曝光的靈敏度(sensitivity)的差異、并且通過執行曝光和顯影來制造記錄頭的流路和噴射端口的方法。在這種制造方法中，在在基板上設置用于形成流路的第一感光樹脂層之后執行曝光以便形成流路的圖案的潛像。在在第一感光樹脂層上設置用于形成噴射端口形成部件的第二感光樹脂層之后執行曝光以便形成噴射端口的圖案的潛像。兩個感光樹脂層具有對曝光的靈敏度的差異，并且特征在于，在曝光劑量曝光感光樹脂層中的一個的同時，曝光劑量不曝光另一個感光樹脂層。因此，即使當兩個感光樹脂層未被顯影時，也可以形成感光樹脂層的圖案中的每一個。在形成潛像之后，感光樹脂層被顯影，并且流路和噴射端口被利用期望的流路形成部件和噴射端口形成部件成形。

在日本專利公開No.4-216951中描述的方法中，隨著流路形成部件和噴射端口形成部件的薄化進行，部件的強度降低，并且存在在部件的制造過程期間出現部件的變形的情況。作為增加部件的強度的方法，可以設想通過使用熱固性材料形成部件并對其施加熱處理來增加部件的硬度。然而，如日本專利公開No.4-216951中所描述的，在通過層壓具有不同曝光靈敏度的兩種類型的感光聚合物形成流路形成部件和噴射端口形成部件的情況下，當其硬度增加時，熱固化期間的收縮率之間的差異可能變大。當熱固化期間的部件的收縮率之間的差異變大時，可能在部件中的至少一個中出現變形，并且基板可能變得翹曲。

抑制這種變形和翹曲出現的方法可以包括匹配具有不同曝光靈敏度的感光樹脂層的熱固化期間的收縮率；然而，難以制備具有不同的和期望的諸如感光性的特性并且具有類似的熱固化收縮率的感光聚合物。

并且，當在負型感光聚合物中形成噴射端口的圖案時，噴射端口形成部件的強度因曝光劑量的增加而增加。然而，用于形成流路形成部件的感光樹脂層的曝光靈敏度需要減小，并且需要改變用于形成流路形成部件的感光聚合物材料。此外，由于當形成噴射端口的圖案時所需要的曝光劑量增加，因此觸感增加。

并且，在正型材料和負型材料兩者中，可以通過向用于形成噴射端口的感光樹脂層添加熱固性粘合劑樹脂來增加強度；然而，取決于粘合劑樹脂的添加量，存在分辨率降低的情況，使得難以執行微加工。