[發明專利]用于制造液體噴射頭的方法

有效

• 申請號: 201710682892.1
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN107718882B
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 魚橋邦仁;永田真吾;藤井謙兒;山室純;笹木弘司;松本圭司;柳沼誠一郎;村上遼太郎;中野智彥;永井正隆
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 11038 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 張勁松<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種用于制造液體噴射頭的方法，所述液體噴射頭包括具有能量產生元件的基板、形成流路的流路形成部件、噴射端口形成部件，所述噴射端口形成部件包括具有噴射端口的噴射端口表面，所述噴射端口利用來自所述能量產生元件的能量噴射從所述流路供給的液體，所述制造液體噴射頭的方法包括：

在基板上設置負型的第一感光樹脂層；

通過選擇性地曝光所述第一感光樹脂層來形成流路的圖案；

在所述第一感光樹脂層上設置負型的第二感光樹脂層；

在所述第二感光樹脂層上設置負型的第三感光樹脂層；

通過選擇性地曝光所述第二和第三感光樹脂層來形成噴射端口的圖案；

使所述第一、第二和第三感光樹脂層顯影；

在顯影之后在所述第二和第三感光樹脂層中的至少一個上照射活化能量線；以及

在活化能量線的照射之后或者與活化能量線的照射同時地熱固化所述第一、第二和第三感光樹脂層。

2.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

所述噴射端口表面是平坦表面。

3.根據權利要求2所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

通過活化能量線的照射，所述第二感光樹脂層與第三感光樹脂層的熱固化收縮率之間的差異減小。

4.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

所述噴射端口表面包括平坦表面和噴射端口的開口邊緣部分，所述開口邊緣部分在所述噴射端口形成部件的厚度方向上從所述平坦表面凹陷。

5.根據權利要求4所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

通過活化能量線的照射，使得所述第三感光樹脂層的熱固化收縮率小于所述第二感光樹脂層的熱固化收縮率。

6.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

所述噴射端口表面包括平坦表面和噴射端口的開口邊緣部分，所述開口邊緣部分在所述噴射端口形成部件的厚度方向上從所述平坦表面突起。

7.根據權利要求6所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

通過活化能量線的照射，使得所述第三感光樹脂層的熱固化收縮率大于所述第二感光樹脂層的熱固化收縮率。

8.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

活化能量線的照射之前的所述第三感光樹脂層的熱固化收縮率小于活化能量線的照射之前的所述第二感光樹脂層的熱固化收縮率。

9.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

在所述第三感光樹脂層的整個表面上照射活化能量線。

10.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

所述第二和第三感光樹脂層彼此接觸。

11.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

所述第一感光樹脂層的曝光靈敏度低于所述第二和第三感光樹脂層的曝光靈敏度。

12.根據權利要求1所述的制造液體噴射頭的方法，其中，

所述第三感光樹脂層的固化物具有防水性。