[發(fā)明專利]一種電子束提純設(shè)備的分布式改良控制方法

有效

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• 申請日: 2017-08-10
• 公開（公告）號: CN107608316B
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張林;楊守斌;于登昌;婁杰;王耀輝
• 申請（專利權(quán)）人: 青島薩納斯新能源科技有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;C01B33/037
• 代理公司: 青島華慧澤專利代理事務(wù)所(普通合伙) 37247
• 代理人: 劉娜;李新欣

本發(fā)明公開了一種電子束提純設(shè)備的分布式改良控制方法，包括如下步驟：(1)分布式部署；(2)基本參數(shù)拾取；(3)電子束路徑規(guī)劃；(4)分布式算法控制，本發(fā)明所公開的控制方法通過分布式的自動控制算法來控制各個電子束提純設(shè)備進行自主動作，通過拾取基本參數(shù)，規(guī)劃電子束路徑，最后通過分布式算法控制，向中央控制中心發(fā)送基本參數(shù)信息，制定煉制方案，從而改良產(chǎn)品品質(zhì)和保證產(chǎn)品產(chǎn)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種物理法煉硅設(shè)備中電子束提純設(shè)備的控制方法，特別涉及一種電子束提純設(shè)備的分布式改良控制方法。

背景技術(shù)

目前，在太陽能電池板的硅原料制備中，通常采用的方法是化學法摻雜的方式制備太陽能電池板的硅料，而這種方法是將電子級的硅料(9個9的純度)摻雜到太陽能級的硅料(6個9)，屬于多次制備的方式。

近年來，為了解決對太陽能級硅料的需求，發(fā)展了一種通過物理法制備太陽能級硅料的制備方法，其中最后一個環(huán)節(jié)就是通過電子束提純設(shè)備，對其中的磷雜質(zhì)進行去除。這個步驟的成敗，決定了整個產(chǎn)品制備的品質(zhì)高低。因此，如何對電子束提純設(shè)備進行控制，以改良產(chǎn)品品質(zhì)和保證產(chǎn)品質(zhì)量是我們研究的重點。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種電子束提純設(shè)備的分布式改良控制方法，通過分布式的自動控制算法來控制各個電子束提純設(shè)備進行自主動作，以達到改良產(chǎn)品品質(zhì)和保證產(chǎn)品產(chǎn)量的目的。

為達到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種電子束提純設(shè)備的分布式改良控制方法，包括如下步驟：

(1)分布式部署：根據(jù)設(shè)備的情況，進行分布式網(wǎng)絡(luò)部署，每臺電子束提純設(shè)備使用一臺控制機作為終端控制機，終端控制機和電子束提純設(shè)備上的PLC工控系統(tǒng)對接，同時所有的終端控制機都通過高速以太網(wǎng)絡(luò)連接到中央控制中心；

(2)基本參數(shù)拾取：根據(jù)電子束提純設(shè)備的特點，采取硅料的含磷比例為基本輸入指標，所有的環(huán)控參數(shù)為基本輔助參數(shù)，電子束路徑為核心參數(shù)；

(3)電子束路徑規(guī)劃：電子束按照橫向、縱向、螺旋線、環(huán)形掃描的方式，在電子束提純設(shè)備中進行掃描，同時建立掃描模型和基本參數(shù)的閉環(huán)關(guān)系，并存儲下來；

(4)分布式算法控制：所有的電子束提純設(shè)備向中央控制中心發(fā)送硅料的基本參數(shù)信息,中央控制中心根據(jù)這些參數(shù)，發(fā)送煉制方案，同時在煉制過程中，對硅料進行實時監(jiān)控和工作參數(shù)調(diào)整。

上述方案中，所述步驟(3)中，當分布式系統(tǒng)中存在N個設(shè)備的時候，按照整體的提純時間T，掃描區(qū)塊分為W＝T/N，按照橫向、縱向、螺旋線、環(huán)形掃描方式分別進行分布，然后進行提純作業(yè)，最后分別測量N個設(shè)備中所得成品的雜質(zhì)含量，按照從低到高排序，在下一個產(chǎn)程中，將雜質(zhì)最高的掃描方式去掉，繼續(xù)填充掃描區(qū)塊W，然后進行提純生產(chǎn)；如此往復(fù)，直到產(chǎn)生一個比較穩(wěn)定的針對該批原料的掃描參數(shù)清單，該清單將用于下個批次中，各種雜質(zhì)含量最接近的原料的生產(chǎn)過程。

通過上述技術(shù)方案，本發(fā)明提供的電子束提純設(shè)備的分布式改良控制方法通過分布式的自動控制算法來控制各個電子束提純設(shè)備進行自主動作，通過拾取基本參數(shù)，規(guī)劃電子束路徑，最后通過分布式算法控制，向中央控制中心發(fā)送基本參數(shù)信息，制定煉制方案，從而改良產(chǎn)品品質(zhì)和保證產(chǎn)品產(chǎn)量。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本發(fā)明實施例所公開的一種電子束提純設(shè)備的分布式改良控制方法示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例所公開的電子束提純設(shè)備平面縱向掃描方式示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例所公開的電子束提純設(shè)備立體螺旋掃描方式示意圖。

具體實施方式