[發明專利]一種制造有機發光顯示面板的基板及蒸鍍裝置有效
| 申請號: | 201710674503.0 | 申請日: | 2017-08-09 |
| 公開(公告)號: | CN107507915B | 公開(公告)日: | 2019-09-13 |
| 發明(設計)人: | 余威 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/00 | 分類號: | H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黃威 |
| 地址: | 430079 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 制造 有機 發光 顯示 面板 裝置 | ||
本發明提供一種制造有機發光顯示面板的基板及蒸鍍裝置,該基板包括:多個間隔設置的待成膜區域,位于所述襯底上,所述待成膜區域用于形成有機發光層;多個第一間隔子,位于所述襯底上,且所述第一間隔子設置在所述待成膜區域的間隙處;多個第二間隔子,位于所述襯底上,所述第二間隔子設置在所述待成膜區域的周緣,所述第二間隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。本發明的制造有機發光顯示面板的基板及蒸鍍裝置,能夠避免蒸鍍材擴散至其他顏色上造成混色。
【技術領域】
本發明涉及顯示技術領域,特別是涉及一種制造有機發光顯示面板的基板及蒸鍍裝置。
【背景技術】
由于OLED顯示器相對于液晶顯示器有自發光、響應快、視角廣、色彩飽和等優點,被廣泛地應用。OLED顯示器是在OLED基板上制作有機發光薄膜,其中有機發光薄膜夾在在陰極和陽極之間,通過給陰極和陽極施加電壓,使有機發光薄膜發光。
OLED的有機發光薄膜的制作過程是利用蒸鍍設備,將多層薄膜相繼沉積在基板上而形成。OLED蒸鍍技術是利用一蒸發源,蒸發源內部充填OLED材料,在真空環境下蒸發源加熱使材料升華或氣化,再透過掩膜板蒸鍍于基板上,圖1中虛線給出OLED材料的流向。如圖1所示,蒸鍍過程中蒸發源在最下方,基板11位于掩膜板21上方,掩膜板21上設置有便于蒸鍍的通孔211,基板11上設置有間隙子13,如圖2所示,且間隙子13設置在待蒸鍍區域12的間隙處,通常基板11與掩膜板21之間的間隙越小,陰影效應越弱。但是由于間隙子13有一定的高度,使得基板11與掩膜板21之間的間隙無法進一步減小,對于高分辨率的基板來說,會使蒸鍍材會在一定程度上擴散至其他顏色上,造成混色。
因此,有必要提供一種制造有機發光顯示面板的基板及蒸鍍裝置,以解決現有技術所存在的問題。
【發明內容】
本發明的目的在于提供一種制造有機發光顯示面板的基板及蒸鍍裝置,能夠避免蒸鍍材擴散至其他顏色上造成混色。
為解決上述技術問題,本發明提供一種制造有機發光顯示面板的基板,其包括:
襯底;
多個間隔設置的待成膜區域,位于所述襯底上,所述待成膜區域用于形成有機發光層;
多個第一間隔子,位于所述襯底上,且所述第一間隔子設置在所述待成膜區域的間隙處;
多個第二間隔子,位于所述襯底上,所述第二間隔子設置在所述待成膜區域的周緣,所述第二間隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。
在本發明的制造有機發光顯示面板的基板中,所述磁性高分子微球為磁性聚丙烯醛類微球。
在本發明的制造有機發光顯示面板的基板中,所述第一間隔子的材料與所述第二間隔子的材料相同。
在本發明的制造有機發光顯示面板的基板中,所述第一間隔子和所述第二間隔子是通過同一制程工藝制得的。
在本發明的制造有機發光顯示面板的基板中,所述第二間隔子的高度和所述第一間隔子的高度相等。
在本發明的制造有機發光顯示面板的基板中,所述磁性高分子微球的粒徑范圍為30nm~100nm。
在本發明的制造有機發光顯示面板的基板中,所述第二間隔子的數量與所述待成膜區域的數量一致。
本發明還提供一種蒸鍍裝置,所述蒸鍍裝置用于對放置于掩膜板上的基板進行蒸鍍處理,其包括:
蒸鍍源,用于提供有機發光材料;
掩膜板,設置有多個用于蒸鍍的通孔;以及
基板,包括:
襯底;
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H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





