[發(fā)明專利]一種制造有機發(fā)光顯示面板的基板及蒸鍍裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710674503.0 | 申請日： | 2017-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN107507915B | 公開（公告）日： | 2019-09-13 |
| 發(fā)明（設計）人： | 余威 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L51/00 | 分類號： | H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 430079 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制造 有機 發(fā)光 顯示 面板 裝置 | ||
1.一種制造有機發(fā)光顯示面板的基板，其特征在于，包括：
襯底；
多個間隔設置的待成膜區(qū)域，位于所述襯底上，所述待成膜區(qū)域用于形成有機發(fā)光層；
多個第一間隔子，位于所述襯底上，且所述第一間隔子設置在所述待成膜區(qū)域的間隙處；
多個第二間隔子，位于所述襯底上，且所述第二間隔子設置在所述待成膜區(qū)域的周緣，所述第二間隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。
2.根據(jù)權利要求1所述的制造有機發(fā)光顯示面板的基板，其特征在于，所述磁性高分子微球為磁性聚丙烯醛類微球。
3.根據(jù)權利要求1所述的制造有機發(fā)光顯示面板的基板，其特征在于，所述第一間隔子的材料與所述第二間隔子的材料相同。
4.根據(jù)權利要求1所述的制造有機發(fā)光顯示面板的基板，其特征在于，所述第一間隔子和所述第二間隔子是通過同一制程工藝制得的。
5.根據(jù)權利要求1所述的制造有機發(fā)光顯示面板的基板，其特征在于，所述第二間隔子的高度和所述第一間隔子的高度相等。
6.根據(jù)權利要求1所述的制造有機發(fā)光顯示面板的基板，其特征在于，所述磁性高分子微球的粒徑范圍為30nm～100nm。
7.根據(jù)權利要求1所述的制造有機發(fā)光顯示面板的基板，其特征在于，所述第二間隔子的數(shù)量與所述待成膜區(qū)域的數(shù)量一致。
8.一種蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置用于對放置于掩膜板上的基板進行蒸鍍處理，包括：
蒸鍍源，用于提供有機發(fā)光材料；
掩膜板，設置有多個用于蒸鍍的通孔；以及
基板，包括：
襯底；
多個間隔設置的待成膜區(qū)域，位于所述襯底上，所述待成膜區(qū)域用于形成有機發(fā)光層；
多個第一間隔子，位于所述襯底和所述掩膜板之間，且所述第一間隔子設置在所述待成膜區(qū)域的間隙處；
多個第二間隔子，位于所述襯底和所述掩膜板之間，且所述第二間隔子設置在所述待成膜區(qū)域的周緣，所述第二間隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。
9.根據(jù)權利要求8所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一間隔子的材料與所述第二間隔子的材料相同。
10.根據(jù)權利要求8所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二間隔子的高度和所述第一間隔子的高度相等。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發(fā)射的，如有機發(fā)光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
