[發明專利]一種MAiA自動化上下料設備

在審

• 申請號: 201710668041.1
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN107591353A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 聶文杰;李躍平
• 申請（專利權）人: 上?？洼x自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18;H01L31/0216
• 代理公司: 上海領洋專利代理事務所(普通合伙)31292
• 代理人: 羅曉鵬

1.一種MAiA自動化上下料設備，配合硅片背鈍化鍍膜主設備(3)使用，其特征在于：包括自動上料模塊(1)、石墨框傳送模塊(2)、自動下料模塊(4)、花籃傳送模塊(5)、硅片移載模塊(6)、石墨框升降模塊(7)，所述石墨框傳送模塊(2)與硅片背鈍化鍍膜主設備(3)連接，用于將滿載未鍍膜硅片(14)的石墨框(19)送入硅片背鈍化鍍膜主設備(3)中，并將滿載已鍍膜硅片(37)的石墨框(19)送出；所述硅片移載模塊(6)設置于石墨框傳送模塊(2)的后方，用于未鍍膜硅片(14)和已鍍膜硅片(37)轉移以及石墨框(19)的傳送；所述石墨框升降模塊(7)設置于硅片移載模塊(6)的后方，用于石墨框(19)的升降和傳送，所述自動上料模塊(1)和自動下料模塊(4)分別置于硅片移載模塊(6)的兩側，用于未鍍膜硅片(14)的上料和已鍍膜硅片(37)的下料，所述花籃傳送模塊(5)連接在自動上料模塊(1)和自動下料模塊(4)的上料端和下料端，用于花籃(12)的傳送。

2.根據權利要求1所述的MAiA自動化上下料設備，其特征在于：所述石墨框傳送模塊(2)包括上下兩層，上層的進料石墨框承載架(26)上設置有石墨框進料電機(25)驅動進料同步帶(30)帶動石墨框(19)向硅片背鈍化鍍膜主設備(3)方向運動，在石墨框(19)的兩側設置有若干進料導正輪(29)用于對石墨框(19)的運動進行定位；石墨框傳送模塊(2)的下層結構與上層相同，但石墨框(19)的運動方向相反，即出料石墨框承載架(28)上的石墨框出料電機(27)驅動出料同步帶(32)帶動石墨框(19)向硅片背鈍化鍍膜主設備(3)反方向運動，在石墨框(19)的兩側設置有若干出料導正輪(31)用于對石墨框(19)的運動進行定位。

3.根據權利要求1所述的MAiA自動化上下料設備，其特征在于：所述硅片移載模塊(6)的移載模組機架(21)包括上下兩層，每層并排放置兩個石墨框(19)，在兩個石墨框(19)的上方分別設有上料移載電缸(16)和下料移載電缸(23)，在上料移載電缸(16)底部設置有上料移載吸盤(18)，用于從自動上料模塊(1)中抓取未鍍膜硅片(14)放置在石墨框(19)上，在下料移載電缸(23)底部設置有下料移載吸盤(24)，用于將石墨框(19)上已鍍膜硅片(37)抓取到自動下料模塊(4)上，硅片移載模塊(6)的上下兩層分別設置移載模組進料電機(20)和移載模組出料電機(22)，分別驅動同步帶用于石墨框(19)的傳送。

4.根據權利要求1所述的MAiA自動化上下料設備，其特征在于：所述石墨框升降模塊(7)的石墨框升降模塊機架(34)的一側設有石墨框升降電缸(35)，另一側設有滑軌，一條石墨框升降流水線(33)在石墨框升降電缸(35)的帶動下能夠上下移動，并用于傳送石墨框(19)。

5.根據權利要求1所述的MAiA自動化上下料設備，其特征在于：所述自動上料模塊(1)的進料端設置有上料花籃升降電缸(17)，自動上料模塊(1)內設置有兩條上料流水線(15)，上料流水線(15)從花籃(12)中將未鍍膜硅片(14)依次取出并傳送到指定位置，上料花籃升降電缸(17)驅動花籃(12)在取料時同步上升。

6.根據權利要求1所述的MAiA自動化上下料設備，其特征在于：所述自動下料模塊(4)的出料端設置有下料花籃升降電缸(38)，自動下料模塊(4)內設置有兩條下料流水線(36)，下料流水線(36)將已鍍膜硅片(37)依次插入到花籃(12)內，下料花籃升降電缸(38)驅動花籃(12)在放料時同步下降。

7.根據權利要求1所述的MAiA自動化上下料設備，其特征在于：所述花籃傳送模塊(5)分為上下兩層，在下層的一側設置有上料進花籃流水線(9)，其上方設置有上料出花籃流水線(8)，與自動上料模塊(1)的進料端相連；在下層的另一側設置有下料出花籃流水線(10)，其上方設置有下料進花籃流水線(11)，與自動下料模塊(4)的出料端相連；所述上料出花籃流水線(8)和下料進花籃流水線(11)之間通過花籃傳送流水線(13)連接，進行花籃(12)的傳遞。