[發(fā)明專利]一種基板防污罩及基板磨邊設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710662883.6
• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN107322406B
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐天宇;張燕斌;劉鋒;李海博;宋海波;唐偉鑫;高娜;崔昌燮;池昶恂;李京洙;張溶源
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B24B9/10
• 分類號: B24B9/10;B24B55/06;B08B15/02;B08B3/02;B08B11/04
• 代理公司: 11291 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 郭潤湘<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基板防污罩及基板磨邊設(shè)備。基板防污罩，包括：罩體，罩體具有防護側(cè)，防護側(cè)在基板磨邊設(shè)備的工作過程中與待研磨的基板相對設(shè)置；水幕裝置，在基板磨邊設(shè)備的工作過程中，水幕裝置用于在罩體的防護側(cè)上形成流向基板的第一水幕，第一水幕所在的平面與基板之間在遠離待研磨邊的一側(cè)的夾角小于90°，且在基板的待研磨邊方向上，第一水幕的長度大于或等于基板的長度；沖洗裝置，在基板磨邊設(shè)備的工作過程中，沖洗裝置用于在罩體的防護側(cè)向基板排放清洗液體。可解決現(xiàn)有技術(shù)中的防污罩在磨邊工藝后玻璃基板上殘留的粉塵數(shù)量較多，進而降低OLED顯示面板良率的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基板防污罩及基板磨邊設(shè)備。

背景技術(shù)

OLED(Organic Light-Emitting Diode；有機電致發(fā)光)顯示面板的制備過程中，需對玻璃基板進行激光切割、磨邊和清洗工藝，然后采用蒸鍍法在玻璃基板上形成OLED器件。在磨邊工藝中會產(chǎn)生大量的玻璃粉塵，OLED顯示面板的生產(chǎn)過程中對玻璃基板表面的異物數(shù)量要求較高，而玻璃基板的表面在被玻璃粉塵污染后會降低后續(xù)工藝中形成的OLED器件的良率。

為減少在磨邊工藝中對玻璃基板造成的粉塵污染，目前的解決方法為在磨邊工藝過程中在玻璃基板的上方設(shè)置防污罩，防污罩的下表面設(shè)有若干個出水孔，在磨邊過程中，防污罩可阻擋部分玻璃粉塵落入玻璃基板表面，同時可通過出水孔排出清洗液對玻璃基板表面進行清洗。然而，現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的防污罩對玻璃粉塵的防護能力和清潔能力仍不能滿足OLED顯示面板對玻璃基板表面異物數(shù)量的要求，在磨邊工藝后玻璃基板上仍殘留有較多玻璃粉塵，降低了OLED顯示面板的良率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種基板防污罩及基板磨邊設(shè)備，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的防污罩對玻璃粉塵防護能力和清潔能力不足而導(dǎo)致的磨邊工藝后玻璃基板上殘留的粉塵數(shù)量較多，進而降低OLED顯示面板良率的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下的技術(shù)方案：

一種基板防污罩，用于基板磨邊設(shè)備，包括：

罩體，所述罩體具有防護側(cè)，所述防護側(cè)在所述基板磨邊設(shè)備的工作過程中與待研磨的基板相對設(shè)置；

水幕裝置，在所述基板磨邊設(shè)備的工作過程中，所述水幕裝置用于在所述罩體的防護側(cè)上形成流向所述基板的第一水幕，所述第一水幕所在的平面與所述基板之間在遠離所述待研磨邊的一側(cè)的夾角小于90°，且在所述基板的待研磨邊方向上，所述第一水幕的長度大于或等于所述基板的長度；

沖洗裝置，在所述基板磨邊設(shè)備的工作過程中，所述沖洗裝置用于在所述罩體的防護側(cè)向所述基板排放清洗液體。

本發(fā)明提供的基板防污罩中，水幕裝置可在基板磨邊設(shè)備的工作過程中在罩體的防護側(cè)形成流向基板的第一水幕，第一水幕在基板的待研磨邊方向的長度大于或等于基板的長度，可阻擋部分基板磨邊設(shè)備形成的粉塵落在基板表面，且第一水幕所在的平面與所述基板之間在遠離所述待研磨邊的一側(cè)的夾角小于90°，可減小混入粉塵的水幕由基板邊緣流向基板表面的概率；同時，沖洗裝置還可在基板磨邊設(shè)備的工作過程中向基板排放清洗液體，對基板表面進行沖洗。因此，本發(fā)明提供的基板防污罩可通過第一水幕阻擋部分粉塵，并通過沖洗裝置對基板表面的粉塵進行沖洗，提高了防污罩對粉塵的防護能力和清潔能力，減少了磨邊工藝后玻璃基板上殘留的粉塵數(shù)量，進而可提高OLED顯示面板良率。

可選地，在所述基板磨邊設(shè)備的工作過程中，所述水幕裝置還用于在所述罩體的防護側(cè)上形成流向所述基板的第二水幕，所述第二水幕位于所述第一水幕遠離所述待研磨邊的一側(cè)，所述第二水幕所在的平面與所述基板之間在遠離所述待研磨邊的一側(cè)的夾角小于90°，且在所述基板的待研磨邊方向上，所述第二水幕的長度大于或等于所述基板的長度。