[發(fā)明專利]一種基板冷卻裝置及冷卻方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710661990.7
• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN107706128B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發(fā)明（設計）人: 楊元隆
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種基板冷卻裝置，其特征在于，包括冷卻水供應裝置、連接所述冷卻水供應裝置且用于對上方的基板(P)進行冷卻的冷卻水管(10)和分別連接所述冷卻水管(10)的多個進水口(21)和多個出水口(22)，所述進水口(21)連接所述冷卻水供應裝置；所述冷卻水管(10)呈矩形分布，且所述冷卻水管(10)的矩形分布區(qū)域被劃分為多個子區(qū)域(100)，每個所述子區(qū)域(100)的所述冷卻水管(10)兩端均只連接有一個所述進水口(21)和一個所述出水口(22)；所述進水口(21)設于所述矩形分布區(qū)域的中部，所述出水口(22)設于所述矩形分布區(qū)域的角部，且每個所述子區(qū)域(100)的所述冷卻水管(10)首先自相應的所述進水口(21)延伸至靠近所述矩形分布區(qū)域的中心后，呈蛇形迂回地引出至角部的所述出水口(22)。

2.根據權利要求1所述的基板冷卻裝置，其特征在于，所述矩形分布區(qū)域被劃分為關于其對稱軸對稱設置的多個所述子區(qū)域(100)。

3.根據權利要求2所述的基板冷卻裝置，其特征在于，每個所述子區(qū)域(100)的面積相同。

4.根據權利要求2所述的基板冷卻裝置，其特征在于，所述子區(qū)域(100)為4個，分別呈矩形布置。

5.根據權利要求4所述的基板冷卻裝置，其特征在于，所述子區(qū)域(100)的所述冷卻水管(10)包括多段與其所屬的所述子區(qū)域(100)的對角線平行的第一段(101)。

6.根據權利要求5所述的基板冷卻裝置，其特征在于，所述子區(qū)域(100)的所述冷卻水管(10)還包括多段與其所屬的所述子區(qū)域(100)的邊界平行的第二段(102)，所述第一段(101)與所述第二段(102)相鄰且依次連接。

7.根據權利要求2所述的基板冷卻裝置，其特征在于，所述子區(qū)域(100)為8個，分別呈三角形布置。

8.根據權利要求1-7任一所述的基板冷卻裝置，其特征在于，還包括定型塊(30)，所述定型塊(30)覆蓋并接觸所述冷卻水管(10)的上表面。

9.根據權利要求8所述的基板冷卻裝置，其特征在于，還包括設于所述定型塊(30)下方的多組吸附通道(40)，位于所述矩形分布區(qū)域的角部的第一吸附通道(41)共用第一真空吸附裝置，位于矩形分布區(qū)域的其他區(qū)域的第二吸附通道(42)各自連通一個第二真空吸附裝置。

10.一種基板冷卻方法，其特征在于，使用權利要求1-9任一所述的基板冷卻裝置，包括：分別同時朝不同的所述子區(qū)域(100)的所述進水口(21)注入冷卻水，使冷卻水依次自所述矩形分布區(qū)域的中心呈蛇形迂回地流向角部的所述出水口(22)。