[發(fā)明專利]自動光學(xué)檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710653164.8
• 申請日: 2017-08-02
• 公開（公告）號: CN109387518B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王帆;陸海亮;張凱
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

本發(fā)明提供一種自動光學(xué)檢測方法，用于檢測被檢測對象的表面缺陷。所述自動光學(xué)檢測方法包括：通過至少兩種照明系統(tǒng)對被檢測對象進(jìn)行照明，分別在各種照明系統(tǒng)下，通過探測器采集被檢測對象的圖像信息，再通過計(jì)算機(jī)對采集的圖像信息進(jìn)行分析，以得到被檢測對象的表面缺陷信息，并通過計(jì)算機(jī)保存所述表面缺陷信息，其中，通過計(jì)算機(jī)保存至少在一種照明系統(tǒng)下采集的圖像信息；通過計(jì)算機(jī)對所有的表面缺陷信息進(jìn)行整合，以合并重復(fù)的表面缺陷信息。本發(fā)明提供一種自動光學(xué)檢測方法可有效提高檢測效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種自動光學(xué)檢測方法。

背景技術(shù)

自動光學(xué)檢測(Automatic Optical Inspection，AOI)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)晶圓、芯片或其它被檢測對象的快速、高精度、無損傷檢測。該技術(shù)廣泛地應(yīng)用于PCB、集成電路、LED、TFT以及太陽能面板等領(lǐng)域。

由于被檢測對象的缺陷具有多樣性，且不同的缺陷具有不同的光學(xué)特性，因此自動光學(xué)檢測裝置一般會配備多種測量配置，即采用多種照明系統(tǒng)對被檢測對象進(jìn)行照明，并通過多種測量配置對同一被檢測對象的不同類型的缺陷進(jìn)行檢測，從而提高缺陷檢測的靈敏度和檢出率。例如，在硅片缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，對于灰度變化較明顯的缺陷，如污染、刮傷等，可以在明場照明的測量配置下進(jìn)行測量；對于微小顆粒，則可以在暗場照明的測量配置下進(jìn)行測量。

目前，具有多種測量配置的自動光學(xué)檢測裝置，在自動檢測的過程中需要先通過光學(xué)成像系統(tǒng)采集被檢測對象的圖像信息，然后通過計(jì)算機(jī)將采集的圖像信息與參考圖像信息進(jìn)行比較，以識別出被檢測對象的表面缺陷，然后再次采集被檢測對象的圖像信息并保存，以便于后續(xù)復(fù)判。

其中，再次采集被檢測對象的圖像信息消耗了一定時間，從而導(dǎo)致自動光學(xué)檢測的檢測時間長，檢測效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種自動光學(xué)檢測方法，以解決現(xiàn)有的自動光學(xué)檢測方法檢測效率低的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種自動光學(xué)檢測方法，用于檢測被檢測對象的表面缺陷，包括：通過至少兩種照明系統(tǒng)對被檢測對象進(jìn)行照明，分別在各種照明系統(tǒng)下，通過探測器采集被檢測對象的圖像信息，再通過計(jì)算機(jī)對采集的圖像信息進(jìn)行分析，以得到被檢測對象的表面缺陷信息，并通過計(jì)算機(jī)保存所述表面缺陷信息，其中，通過計(jì)算機(jī)保存至少在一種照明系統(tǒng)下采集的圖像信息；通過計(jì)算機(jī)對所有的表面缺陷信息進(jìn)行整合，以合并重復(fù)的表面缺陷信息。

可選的，計(jì)算機(jī)在保存的圖像信息中選擇至少一種照明系統(tǒng)照射下的圖像信息，將表面缺陷信息標(biāo)注到選擇的圖像信息中，再將圖像信息輸出并保存。

可選的，計(jì)算機(jī)在保存的圖像信息中選擇圖像信息時，僅選擇在一種照明系統(tǒng)的照射下保存的圖像信息。

可選的，計(jì)算機(jī)在保存的圖像信息中選擇圖像信息時，選擇至少在兩種照明系統(tǒng)的照射下保存的圖像信息，并將一部分的表面缺陷信息標(biāo)注在一部分選擇的圖像信息中，另一部分的表面缺陷信息標(biāo)注在另一部分選擇的圖像信息中。

可選的，探測器采集被檢測對象的圖像信息時，通過掃描的方式采集被檢測對象的圖像信息。

可選的，掃描時，所述探測器的位置不變，所述被檢測對象移動。

可選的，所述探測器采集被檢測對象的圖像信息之前，通過同步控制器使相應(yīng)的照明系統(tǒng)照射被檢測對象。

可選的，在對被檢測對象進(jìn)行檢測之前，將被檢測對象放置在工件臺上，并通過工件臺將第一同步信號發(fā)送給同步控制器，同步控制器將第二同步信號和第三同步信號分別發(fā)送給探測器和相應(yīng)的照明系統(tǒng)，以使探測器開始采集被檢測對象的圖像信息，并使相應(yīng)的照明系統(tǒng)照明被檢測對象。