[發(fā)明專利]自動(dòng)光學(xué)檢測方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710653164.8
• 申請(qǐng)日: 2017-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN109387518B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王帆;陸海亮;張凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種自動(dòng)光學(xué)檢測方法，用于檢測被檢測對(duì)象的表面缺陷，其特征在于，包括：將被檢測對(duì)象裝載到工件臺(tái)上，以依序分別采集所述被檢測對(duì)象在至少兩種照明系統(tǒng)的照明下的圖像信息，并且，所述至少兩種照明系統(tǒng)的入射光線照射所述被檢測對(duì)象的同一表面，且對(duì)應(yīng)的圖像信息均通過探測反射光線獲得；

采集所述被檢測對(duì)象在每種所述照明系統(tǒng)的照明下的圖像信息的方法為：當(dāng)所述工件臺(tái)承載所述被檢測對(duì)象移動(dòng)到測量位置時(shí)，工件臺(tái)發(fā)出一同步信號(hào)給同步控制器，同步控制器發(fā)出一同步信號(hào)給探測器，所述探測器用于采集所述被檢測對(duì)象的圖像信息，所述同步控制器還發(fā)出一同步信號(hào)給相應(yīng)的所述照明系統(tǒng)以對(duì)被檢測對(duì)象進(jìn)行照明；

計(jì)算機(jī)對(duì)在所述至少兩種照明系統(tǒng)的照明下分別采集的圖像信息進(jìn)行分析，以得到被檢測對(duì)象的表面缺陷信息，并通過計(jì)算機(jī)保存所述表面缺陷信息；通過計(jì)算機(jī)對(duì)所有的表面缺陷信息進(jìn)行整合，以合并重復(fù)的表面缺陷信息，得到經(jīng)過整合后的表面缺陷信息。

2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，計(jì)算機(jī)在保存的圖像信息中選擇至少一種照明系統(tǒng)照射下的圖像信息，將表面缺陷信息標(biāo)注到選擇的圖像信息中，再將圖像信息輸出并保存。

3.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，計(jì)算機(jī)在保存的圖像信息中選擇圖像信息時(shí)，僅選擇在一種照明系統(tǒng)的照射下保存的圖像信息。

4.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，計(jì)算機(jī)在保存的圖像信息中選擇圖像信息時(shí)，選擇至少在兩種照明系統(tǒng)的照射下保存的圖像信息，并將一部分的表面缺陷信息標(biāo)注在一部分選擇的圖像信息中，另一部分的表面缺陷信息標(biāo)注在另一部分選擇的圖像信息中。

5.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，探測器采集被檢測對(duì)象的圖像信息時(shí)，通過掃描的方式采集被檢測對(duì)象的圖像信息。

6.如權(quán)利要求5所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，掃描時(shí)，所述探測器的位置不變，所述被檢測對(duì)象移動(dòng)。

7.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，所述探測器采集被檢測對(duì)象的圖像信息之前，通過同步控制器使相應(yīng)的照明系統(tǒng)照射被檢測對(duì)象。

8.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，在對(duì)被檢測對(duì)象進(jìn)行檢測之前，將被檢測對(duì)象放置在工件臺(tái)上，并通過工件臺(tái)將第一同步信號(hào)發(fā)送給同步控制器，同步控制器將第二同步信號(hào)和第三同步信號(hào)分別發(fā)送給探測器和相應(yīng)的照明系統(tǒng)，以使探測器開始采集被檢測對(duì)象的圖像信息，并使相應(yīng)的照明系統(tǒng)照明檢測對(duì)象。

9.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，同步控制器先將第二同步信號(hào)發(fā)送給探測器，使探測器開始采集被檢測對(duì)象的圖像信息，在探測器采集被檢測對(duì)象的圖像信息的過程中，同步控制器將第三同步信號(hào)分別發(fā)送給相應(yīng)的照明系統(tǒng)，以使相應(yīng)的照明系統(tǒng)照明被檢測對(duì)象。

10.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，僅有兩種照明系統(tǒng)，一種為明場照明系統(tǒng)，另一種為暗場照明系統(tǒng)。

11.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，所述照明系統(tǒng)有三種，一種為明場照明系統(tǒng)，一種為暗場照明系統(tǒng)，一種為紅外照明系統(tǒng)。

12.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，所述探測器的數(shù)量為多個(gè)，一個(gè)探測器僅采集一種照明系統(tǒng)照射下的圖像信息。

13.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測方法，其特征在于，所述探測器的數(shù)量為一個(gè)，可采集多種照明系統(tǒng)照射下的圖像信息。