[發明專利]顯影設備的排氣系統及其調節機構在審
| 申請號： | 201710649283.6 | 申請日： | 2017-08-01 |
| 公開（公告）號： | CN107357139A | 公開（公告）日： | 2017-11-17 |
| 發明（設計）人： | 張瑞軍;王松;莫超德;范志翔 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)44280 | 代理人： | 鐘子敏 |
| 地址： | 518006 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯影 設備 排氣 系統 及其 調節 機構 | ||
1.一種顯影設備的排氣系統，其特征在于，所述排氣系統包括：
多個排氣口，沿著待顯影基板的流水線方向依序設置；
排氣機構，分別設置于每個所述排氣口，并使得所述排氣口的排氣能力沿著所述流水線方向依序增強；
調節機構，所述調節機構包括殼體，所述殼體內設有氣流通道，所述氣流通道的兩端分別設有第一開口和第二開口，所述第一開口面積大于所述第二開口面積，且所述第二開口數量為多個，所述第一開口或所述第二開口與所述排氣口匹配相通。
2.根據權利要求1所述的排氣系統，其特征在于，所述第二開口為蜂孔狀，所述第二開口為規律排布或疏密排布。
3.根據權利要求2所述的排氣系統，其特征在于，所述調節機構為六面體，所述第一開口和所述第二開口分別設置于所述六面體相對的兩面，所述第一開口是所述六面體的一面敞口，所述第二開口布滿所述六面體的另一相對面。
4.根據權利要求3所述的排氣系統，其特征在于，所述六面體長度為300～800mm，寬度和高度均為100～200mm。
5.根據權利要求1所述的排氣系統，其特征在于，每一所述蜂孔的直徑為10～20mm。
6.根據權利要求1所述的排氣系統，其特征在于，所述第一開口與所述排氣口匹配相通，所述第二開口朝向所述流水線設置；或者，所述第二開口與所述排氣口匹配相通，所述第一開口朝向所述流水線設置。
7.根據權利要求1-6任一項所述的排氣系統，其特征在于，所述排氣系統進一步包括閥門，所述閥門設置于所述排氣口，并用于調節所述排氣口的排氣風量。
8.根據權利要求7所述的排氣系統，其特征在于，所述排氣機構包括抽風機，所述抽風機用于在所述顯影設備內產生負壓。
9.一種用于顯影設備的排氣系統的調節機構，其特征在于，所述調節機構包括殼體，所述殼體內設有氣流通道，所述氣流通道的兩端分別設有第一開口和第二開口，所述第一開口面積大于所述第二開口面積，且所述第二開口數量為多個，所述第一開口或所述第二開口與所述排氣系統的排氣口匹配相通。
10.根據權利要求9所述的調節機構，其特征在于，所述第二開口為蜂孔狀，所述第二開口為規律排布或疏密排布。
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