[發明專利]位置檢測裝置及位置檢測方法

有效

• 申請號: 201710621072.1
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN107662415B
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 岡本裕司
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: B41J11/00
• 分類號: B41J11/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

本發明提供一種能夠在基板的正反兩面進行基板的定位的位置檢測裝置。支承部支承基板。至少一個攝像裝置對支承于支承部的基板進行拍攝。處理部根據由一個攝像裝置拍攝支承于支承部的基板的角部而得到的第1圖像來求出基板的位置信息。之后，處理部根據由一個攝像裝置拍攝將正反面翻轉后支承于支承部的基板的角部而得到的第2圖像、第1圖像及根據第1圖像而求出的基板的位置信息，求出正反面翻轉后的基板的位置信息。

本申請主張基于2016年7月27日于日本申請的日本專利申請第2016-146855號的優先權。該日本申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

技術領域

本發明涉及一種位置檢測裝置及位置檢測方法。

背景技術

已知有一種在對基板進行繪圖或加工時使用形成于基板的對準標記而對基板進行定位的技術。在對基板的正反兩面進行繪圖或加工時，期待正反面上的繪圖位置或加工位置彼此一致。可以在基板的內層植入對準標記，并從正反兩面檢測一個對準標記，從而在正反兩面進行定位。

作為從正反兩面檢測內層的對準標記的方法，可考慮使用照射強光來使對準標記浮出的方法及進行锪孔(counter boring)加工直到對準標記露出為止的方法。

在下述專利文獻1中，公開有一種根據對基板的角部附近進行拍攝而得到的圖像數據來對基板進行定位的網版印刷技術。

專利文獻1：日本特開2014-205286號公報

但是，對于在內層未形成有對準標記的基板而言，無法應用從正反兩面檢測對準標記而對基板進行定位的方法。在專利文獻1中，公開有一種僅在基板的單側面進行定位的技術，并未公開在正反兩面進行定位的技術。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能夠在基板的正反兩面進行基板的定位的位置檢測裝置及位置檢測方法。

根據本發明的一個觀點，本發明提供一種位置檢測裝置，其具有：

支承部，支承基板；

至少一個攝像裝置，對支承于所述支承部的所述基板進行拍攝；及

處理部，

所述處理部根據由一個所述攝像裝置拍攝支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1圖像來求出所述角部的位置信息，

所述處理部根據由一個所述攝像裝置拍攝將正反面翻轉后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2圖像、所述第1圖像及根據所述第1圖像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻轉后的所述基板的所述角部的位置信息。

根據本發明的另一觀點，本發明提供一種位置檢測方法，其中，

從基板的第1面側拍攝所述基板的角部而獲取第1圖像，

根據所述第1圖像，求出從所述基板的所述第1面側觀察時的所述角部的位置信息，

從與所述第1面相反一側的第2面側拍攝所述基板的所述角部而獲取第2圖像，

根據所述第1圖像、所述第2圖像及根據所述第1圖像而求出的所述基板的所述角部的位置信息，求出從所述基板的所述第2面側觀察時的所述角部的位置信息。

由于根據拍攝基板的角部而得到的第1圖像、拍攝將正反面翻轉后的基板的同一個角部而得到的第2圖像及根據第1圖像而求出的基板的位置信息求出正反面翻轉后的所述基板的位置信息，因此能夠在基板的正反兩面將角部作為共同的基準點。與分別對第1圖像和第2圖像進行圖像分析而檢測出角部的位置的方法相比，能夠減少基板的正反兩面上的共用的基準點的錯位。

附圖說明