[發明專利]位置檢測裝置及位置檢測方法

有效

• 申請號: 201710621072.1
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN107662415B
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 岡本裕司
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: B41J11/00
• 分類號: B41J11/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

1.一種位置檢測裝置，其特征在于，具有：

支承部，支承基板；

至少一個攝像裝置，對支承于所述支承部的所述基板進行拍攝；及

處理部，

所述處理部根據由一個所述攝像裝置拍攝支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1圖像來求出所述角部的位置信息，

所述處理部根據由一個所述攝像裝置拍攝將正反面翻轉后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2圖像、所述第1圖像及根據所述第1圖像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻轉后的所述基板的所述角部的位置信息；

其中，在求出正反面翻轉后的所述基板的所述角部的位置信息時，所述處理部使用將所述第1圖像及所述第2圖像中的一個圖像鏡像轉換后的圖像和另一個圖像。

2.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其特征在于，

所述攝像裝置的景深范圍包括支承于所述支承部的所述基板的上表面及下表面這雙方。

3.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其特征在于，

所述位置檢測裝置還具有自動調焦機構，該自動調焦機構使所述攝像裝置(11A、11B)對焦于基板(50)的上表面及下表面的邊緣中的位于更靠外側的邊緣。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的位置檢測裝置，其特征在于，

在求出正反面翻轉后的所述基板的所述角部的位置信息時，所述處理部對將所述第1圖像及所述第2圖像中的一個圖像鏡像轉換后的圖像與另一個圖像進行圖案匹配，并根據圖案匹配的結果，求出正反面翻轉后的所述基板的所述角部的位置信息。

5.根據權利要求4所述的位置檢測裝置，其特征在于，

所述第1圖像及所述第2圖像是在內部包含所述基板的所述角部的區域的圖像。

6.一種位置檢測方法，其特征在于，

從基板的第1面側拍攝所述基板的角部而獲取第1圖像，

根據所述第1圖像，求出從所述基板的所述第1面側觀察時的所述角部的位置信息，

從與所述第1面相反一側的第2面側拍攝所述基板的所述角部而獲取第2圖像，

根據所述第1圖像、所述第2圖像及根據所述第1圖像而求出的所述基板的所述角部的位置信息，求出從所述基板的所述第2面側觀察時的所述角部的位置信息；

其中，在求出從所述基板的所述第2面側觀察時的所述角部的位置信息時，使用將所述第1圖像及所述第2圖像中的一個圖像鏡像轉換后的圖像和另一個圖像。