[發(fā)明專利]一種設(shè)備異常反饋系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710618481.6
• 申請日: 2017-07-26
• 公開（公告）號: CN107272560A
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王浩
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05
• 代理公司: 北京聿宏知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建,王浩

1.一種產(chǎn)線設(shè)備異常反饋系統(tǒng)，其特征在于：包括用于控制各個設(shè)備的PLC模塊，所述PLC模塊包括：初始脈沖模塊，控制整個反饋系統(tǒng)的啟停；

單元設(shè)備控制模塊，與各個設(shè)備相連，用于控制各個設(shè)備的啟停；

單元設(shè)備轉(zhuǎn)移模塊，與單元設(shè)備控制模塊相連，用于接收設(shè)備異常信號，并停止異常設(shè)備及異常設(shè)備之前的設(shè)備運行；

產(chǎn)線設(shè)備運行模塊，與單元設(shè)備轉(zhuǎn)移模塊相連，用于啟動異常設(shè)備之后設(shè)備的運行；

產(chǎn)線設(shè)備結(jié)束模塊，單元設(shè)備控制模塊相連，待異常設(shè)備之后的設(shè)備運行完成后停止整個產(chǎn)線的運行。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋系統(tǒng)，其特征在于：所述每個設(shè)備對應(yīng)相應(yīng)的單元設(shè)備控制模塊、產(chǎn)線設(shè)備運行模塊以及單元設(shè)備轉(zhuǎn)移模塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋系統(tǒng)，其特征在于：所述設(shè)備包括：載入單元設(shè)備、清洗單元設(shè)備、清洗單元設(shè)備、涂料單元設(shè)備、真空干燥器、預(yù)烘機、膜厚測量設(shè)備、掃描儀或調(diào)整設(shè)備、顯影設(shè)備、光學(xué)檢查設(shè)備、烘烤單元設(shè)備以及卸料單元設(shè)備。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋系統(tǒng)，其特征在于：所述設(shè)備按照載入單元設(shè)備、清洗單元設(shè)備、清洗單元設(shè)備、涂料單元設(shè)備、真空干燥器、預(yù)烘機、膜厚測量設(shè)備、掃描儀或調(diào)整設(shè)備、顯影設(shè)備、光學(xué)檢查設(shè)備、烘烤單元設(shè)備以及卸料單元設(shè)備的順序運行。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋系統(tǒng)，其特征在于：所述單元設(shè)備控制模塊還與產(chǎn)線設(shè)備運行模塊連接，當設(shè)備出現(xiàn)異常時，產(chǎn)線設(shè)備運行模塊啟動，控制異常設(shè)備之后的設(shè)備運行。

6.一種產(chǎn)線設(shè)備異常反饋方法，其特征在于：包括，啟動初始脈沖模塊，產(chǎn)線設(shè)備依次運行，當產(chǎn)線中其中一臺設(shè)備出現(xiàn)異常時，異常信號反饋至單元設(shè)備轉(zhuǎn)移模塊，異常設(shè)備轉(zhuǎn)移模塊停止異常設(shè)備及異常設(shè)備之前的設(shè)備運行，同時啟動產(chǎn)線運行模塊，控制異常設(shè)備之后的設(shè)備正常運行，待異常設(shè)備之后的設(shè)備依次運行完畢后停止整個產(chǎn)線的運行。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋方法，其特征在于，其特征在于所述設(shè)備包括：順序運行載入單元設(shè)備、清洗單元設(shè)備、清洗單元設(shè)備、涂料單元設(shè)備、真空干燥器、預(yù)烘機、膜厚測量設(shè)備、掃描儀或調(diào)整設(shè)備、顯影設(shè)備、光學(xué)檢查設(shè)備、烘烤單元設(shè)備以及卸料單元設(shè)備。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋方法，其特征在于，所述清洗單元設(shè)備出現(xiàn)異常時，清洗單元設(shè)備控制模塊停止清洗單元設(shè)備的運行，清洗單元設(shè)備轉(zhuǎn)移模塊接受到異常信號，停止順序運行載入單元設(shè)備以及清洗單元設(shè)備的運行，并開啟產(chǎn)線設(shè)備運行模塊，控制涂料單元設(shè)備、真空干燥器、預(yù)烘機、膜厚測量設(shè)備、掃描儀或調(diào)整設(shè)備、顯影設(shè)備、光學(xué)檢查設(shè)備、烘烤單元設(shè)備以及卸料單元設(shè)備依次運行。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋方法，其特征在于，所述卸料單元運行完畢后，啟動產(chǎn)線設(shè)備結(jié)束模塊，停止所有設(shè)備運行。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的產(chǎn)線設(shè)備異常反饋方法，其特征在于，所述設(shè)備發(fā)生異常，對應(yīng)的單元設(shè)備轉(zhuǎn)移模塊控制異常設(shè)備之后的產(chǎn)線設(shè)備運行模塊的開啟。