[發明專利]一種成膜設備

在審

• 申請號: 201710615508.6
• 申請日: 2017-07-26
• 公開（公告）號: CN107345292A
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發明（設計）人: 盧艷
• 申請（專利權）人: 北京芯微諾達科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/54;C23C14/34;C23C14/26;C23C14/30
• 代理公司: 北京高沃律師事務所11569
• 代理人: 王加貴

1.一種成膜設備，其特征在于：包括殼體，所述殼體的內部為成膜室，所述成膜室的上部或下部設有待生長的材料源，所述成膜室的下部或上部設有用于放置工件的工作臺，所述工作臺的內部設有加熱設備，所述工作臺由一直線運動機構驅動上下移動，所述直線運動機構由一控制器控制。

2.根據權利要求1所述的成膜設備，其特征在于：所述直線運動機構為電動推桿，所述電動推桿的固定端連接所述殼體，所述電動推桿的活動端連接所述工作臺。

3.根據權利要求1所述的成膜設備，其特征在于：所述直線運動機構包括伺服電機、驅動齒輪和齒條，所述伺服電機設置在所述殼體上，所述驅動齒輪設置在所述伺服電機的驅動軸上，所述齒條設置在所述工作臺上，所述驅動齒輪與所述齒條嚙合。

4.根據權利要求1所述的成膜設備，其特征在于：所述控制器內預設有控制所述直線運動機構的程序；所述程序包括可設定的參數。

5.根據權利要求1所述的成膜設備，其特征在于：還包括設置在所述成膜室內部的激光測厚傳感器，所述激光測厚傳感器與所述控制器電連接。

6.根據權利要求5所述的成膜設備，其特征在于：所述控制器根據所述激光測厚傳感器的檢測數據，控制所述直線運動機構向上或向下移動。

7.根據權利要求6所述的成膜設備，其特征在于：所述激光測厚傳感器至少為兩個，分別檢測膜層不同部位的厚度。

8.根據權利要求1所述的成膜設備，其特征在于：所述材料源為靶材或蒸發源，所述靶材連接有濺射源，所述濺射源為微波發生器、射頻發生器或直流電源；所訴蒸發源采用熱蒸發或電子束蒸發。

9.根據權利要求1所述的成膜設備，其特征在于：所述加熱設備為電阻加熱器或紅外加熱器。