[發明專利]一種真空設備門蓋關閉自調節裝置

在審

• 申請號: 201710611397.1
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN109295432A
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 周文彬
• 申請（專利權）人: 昆山迅立光電設備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種真空設備上蓋關閉自調節裝置；其特征在于，它包括：鉸鏈、鉸鏈座、鉸鏈上軸心桿、鉸鏈下軸心桿、固定桿、左微調固定片、右微調固定片及微調片固定軸心桿；所述鉸鏈利用鉸鏈下軸心桿固定在鉸鏈座上，鉸鏈上軸心固定動力來源；例如油壓桿，鉸鏈與固定桿以螺絲固定，左微調片及右微調片以插銷方式固定在鉸鏈上，微調片固定軸心固定微調片及固定桿，形成可前后擺動的狀態；固定桿下方可鎖固需上下移動部件；例如上蓋。通過這樣的結構可以使上蓋在閉合時能自動調節前后位置，可以緊密及準確蓋在腔室上，不會產生翹曲或閉合不緊的現象。

技術領域

技術領域本發明涉及真空封合領域，特別是涉及一種真空設備上蓋關閉自調節裝置。

背景技術

真空鍍膜設備上蓋開蓋機構大都有兩種設置；一種不做任何機構，客戶端設置行車，使用行車吊掛，但會增加客戶廠房建置的成本；另一種是設置上蓋上掀機構，采用電動缸或液壓缸來做動力來源，通過鉸鏈連接到上蓋，將上蓋打開至設定位置，但是于上蓋閉合時，前后兩端因為角度差異及先后接觸的順序問題容易造成后端已接觸腔壁，前端尚未接觸且因鉸鏈連接上蓋位置為固定不可活動支點，導致前或后端與腔體不接觸，關門失效。導致這種異常由于實際組裝誤差或設備部件規格及位置與設計存在不一致造成的。于是需要不定時調整機構位置；于是本創作鑒于現有電動缸或液壓缸上掀動作上有上述諸多缺失，乃藉其多年于相關領域的制造及設計經驗和知識的輔佐，并經多方巧思，針對現有傳送動作更新的研發，而研創出本創作。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，使其能夠解決真空腔體上蓋關閉時前或后端與腔體不接觸，關門失效，導致真空抽氣無法進行。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是：提供一種一種真空設備上蓋關閉自調節裝置；其特征在于，它包括：鉸鏈、鉸鏈上軸心桿、鉸鏈座、鉸鏈下軸心桿、右微調固定片、固定桿、左微調固定片及微調片固定軸心桿；所述鉸鏈利用鉸鏈下軸心桿固定在鉸鏈座上，鉸鏈上軸心固定動力來源；例如油壓桿，鉸鏈與固定桿以螺絲固定，左微調片及右微調片以插銷方式固定在鉸鏈上，微調片固定軸心固定微調片及固定桿，形成可前后擺動的狀態；固定桿下方可鎖固需上下移動部件，所述左右微調片于上蓋閉合時，若后端先行接觸腔壁，則導致左右微調片繞著微調片固定軸心向前有角度的轉動，進而使上蓋前后端達到一定的平行度平衡狀態，史上蓋能水平方式閉合，不會產生關門失效。對于后續使用的可靠度相當高，大幅減少對關門機構的維護調整工作，大幅減少設備故障停機時間。

本發明的有益效果是：

1. 本發明結構簡單，完全不需電力或氣動元件來維持上蓋平行度。

2. 本發明利用左右微調片的轉動來達到上蓋閉合時的前后平行度，不致使關門失效。

在一個實例中，真空腔體上蓋由左右兩邊的鉸鏈完成開啟及閉合工作，鉸鏈上軸心桿連接液壓缸，鉸鏈固定在鉸鏈座上，鉸鏈固定桿與上蓋連接在一起，左微調片、右微調片與固定桿利用微調片固定軸心固定，使上蓋前后端能做平行度調整以達到自我調整的目的。

附圖說明

圖1是本發明結構示意圖；

圖2是本發明應用實例示意圖

主要元件符號說明 10……………… 自調節裝置

11………………. 鉸鏈 12……………… 鉸鏈上軸心桿 13………………. 鉸鏈座14………………. 鉸鏈下軸心桿 15………………. 右微調固定片 16………………. 固定桿 17………………. 左微調固定片 18……………..... 微調片固定軸心桿21……………… 腔體上蓋 。

具體實施方式