[發明專利]一種真空設備門蓋關閉自調節裝置

在審

• 申請號: 201710611397.1
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN109295432A
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 周文彬
• 申請（專利權）人: 昆山迅立光電設備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，其特征在于，它包括：鉸鏈、鉸鏈座、鉸鏈上軸心桿、鉸鏈下軸心桿、固定桿、左微調固定片、右微調固定片及微調片固定軸心桿；所述鉸鏈利用鉸鏈下軸心桿固定在鉸鏈座上，鉸鏈上軸心固定動力來源；例如油壓桿，鉸鏈與固定桿以螺絲固定，左微調片及右微調片以插銷方式固定在鉸鏈上，微調片固定軸心固定微調片及固定桿，形成可前后擺動的狀態；固定桿下方可鎖固需上下移動部件。

2.根據權利要求1所述的一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，其特征在于：所述鉸鏈為不銹鋼材質，孔徑為35mm，寬度45mm。

3.根據權利要求1所述的一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，其特征在于：所述鉸鏈上軸心桿，直徑35mm，長度83mm。

4.根據權利要求1所述的一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，其特征在于：所述微調片固定軸心桿，直徑35mm，長度83mm。

5.根據權利要求1所述的一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，其特征在于：所述鉸鏈下軸心桿，直徑35mm，長度103mm。

6.根據權利要求1所述的一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，其特征在于：所述左微調固定片及右微調固定片為倒三角圓角形狀，孔徑35mm，以三明治夾持方式固定在固定桿上。

7.根據權利要求1所述的一種真空設備上蓋關閉自調節裝置，其特征在于：所述固定桿，寬度45mm，長度960m，材質為不銹鋼。