[發明專利]用于OLED蒸鍍的蔭罩及其制作方法、OLED面板的制作方法

有效

• 申請號: 201710611036.7
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN109301081B
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 孔杰;居宇涵
• 申請（專利權）人: 上海視涯技術有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

一種用于OLED蒸鍍的蔭罩及其制作方法、OLED面板的制作方法，其中蔭罩的制作方法包括：提供鋼化玻璃襯底，所述鋼化玻璃襯底包括正面和相對的背面；在所述鋼化玻璃襯底的正面上形成格柵膜層；刻蝕所述部分所述格柵膜層，在所述格柵膜層中形成若干貫穿格柵膜層且呈陣列排布的開口；沿鋼化玻璃襯底的背面刻蝕部分所述鋼化玻璃襯底，在鋼化玻璃襯底中形成暴露出格柵膜層中的若干開口以及相鄰開口之間的格柵膜層的凹槽。本發明形成的蔭罩中格柵膜層中開口的尺寸可以較小并形貌較好，將之用于蒸鍍時能形成尺寸較小且形貌較好的發光單元，并能減小陰影效應的影響，提高開口率。

技術領域

本發明涉及OLED蒸鍍領域，特別涉及一種高精度的用于OLED蒸鍍的蔭罩及其制作方法、OLED面板的制作方法。

背景技術

有機電致發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示面板同時具備自發光(不需背光源)、對比度高、厚度薄、視角廣、反應速度快、可用于撓曲性面板、使用溫度范圍廣和構造及制程較簡單等優點，越來越受到業界青睞。

OLED顯示面板最初的彩色方案是制作顯示白光的顯示單元，然后再配合使用相應的彩色濾光片。這種技術方案這種技術方案需要引入彩色濾光片，由于彩色濾光片的遮擋使得約80％的顯示子像素出光損耗在彩色濾光片中，使得OLED顯示面板的發光功耗和亮度性能逐漸無法滿足對微顯示可穿戴應用的需求。此外，這種技術方案中，無法單獨調制不同波長紅綠藍三種子像素的微腔腔長，而彩色濾光片的可選擇性變小，因此，相應OLED顯示面板的視角色偏、動靜態對比度和色域廣度等顯示主要性能皆有較大幅度下降。

為此，業界提出直接形成三原色子像素的技術方案。這種技術方案由于不需要彩色濾光片，因此，各個子像素的出光損耗小，OLED顯示面板的發光功耗和亮度性能優越。并且，這種OLED顯示面板可以單獨調制不同波長紅綠藍三種子像素的微腔，因此，相應OLED顯示面板的大視角色偏、動靜態對比度、色域廣度等顯示主要性能優越。

直接形成三原色子像素的技術方案在OLED顯示面板生產過程中，最重要的過程之一是將有機層(發光材料)按照驅動矩陣的要求蒸鍍到基板上，形成各個發光顯示單元等結構。這個過程中，需要使用到金屬蔭罩(或掩膜) 和蒸鍍源，金屬蔭罩中具有與待形成的若干發光單元對應的若干開口，其具體過程為請參考圖1：將基板12置于蒸鍍腔中；將金屬蔭罩13置于基板12 的表面；蒸鍍源11產生的氣態發光材料經過金屬蔭罩13上的若干開口15擴散到基板12上，在基板12上形成與若干開口15對應的發光單元16。

然而，現有采用蒸鍍形成OLED面板存在子像素(發光單元)的極限尺寸仍加大，開口率仍較低的問題，無法滿足小尺寸高解析度的OLED面板的要求的問題。

發明內容

本發明解決的問題是怎樣減小OLED面板的極限尺寸以及提高OLED面板的開口率。

為解決上述問題，本發明提供一種用于OLED蒸鍍的蔭罩的制作方法，包括：提供鋼化玻璃襯底，所述鋼化玻璃襯底包括正面和相對的背面；在所述鋼化玻璃襯底的正面上形成格柵膜層；刻蝕部分所述格柵膜層，在所述格柵膜層中形成若干貫穿格柵膜層且呈陣列排布的開口；沿所述鋼化玻璃襯底的背面刻蝕部分所述鋼化玻璃襯底，在鋼化玻璃襯底中形成暴露出格柵膜層中的若干開口以及相鄰開口之間的格柵膜層的凹槽。

可選的，在形成格柵膜層的步驟之前，在所述鋼化玻璃襯底的正面形成緩沖層。

可選的，所述緩沖層的材料與格柵膜層的材料不相同或相同，所述格柵膜層具有張應力，所述緩沖層具有張應力，且緩沖層的張應力小于格柵膜層的張應力。

可選的，所述緩沖層的材料為氧化硅，緩沖層的厚度為0.3～0.6微米，緩沖層的表面粗糙度小于20nm，緩沖層的應力為小于200Mpa。

可選的，所述緩沖層的形成工藝為低溫等離子增強化學氣相沉積工藝。