[發明專利]一種開放式光罩存儲裝置

有效

• 申請號: 201710607022.8
• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN107255904B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 楊政諭
• 申請（專利權）人: 亞翔系統集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66;B01D46/00
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

1.一種開放式光罩存儲裝置，其特征在于：包括存儲箱體(1)，所述存儲箱體一側的下部為敞口結構，該敞口結構的正上方設有出風口(7)，由該出風口流出的氣流向下運動，形成氣墻并覆蓋所述敞口結構；

所述存儲箱體內的上部設有化學過濾器(8)、風機(3)和空氣過濾器；所述存儲箱體內的下部設有至少1層光罩承載架(9)，光罩承載架的外側臨近所述敞口結構，光罩承載架的內側與存儲箱體構成回風通道(10)；

從空氣過濾器出來的潔凈氣體由出風口向下運動，部分潔凈氣體流經光罩承載架進入所述回風通道，回風通道的出口與所述化學過濾器、空氣過濾器連通，從而形成氣流循環；

所述存儲箱體內的光罩承載架為多層，從上到下，各層光罩承載架的外側向外伸出的長度逐漸增加。

2.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：所述存儲箱體上還設有新鮮空氣補入口(11)。

3.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：所述存儲箱體內的上部依次設有化學過濾器、風機和空氣過濾器。

4.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：所述存儲箱體內還設有溫度控制裝置(12)。

5.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：所述存儲箱體內的光罩承載架為多層，光罩承載架的內側設有復數個通風口以與所述回風通道連通；且從上到下，各層光罩承載架上的通風口的總面積逐漸變小。

6.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：所述空氣過濾器為超高效空氣粒子過濾器。

7.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：所述出風口流出的氣流方向平行于所述敞口結構所在的平面。

8.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：所述出風口處的外側設有引流板(14)，引流板與出風口的外側壁之間形成引流口，由出風口流出的主氣流和引流口流出的引氣流一同形成氣墻。

9.根據權利要求1所述的開放式光罩存儲裝置，其特征在于：從所述出風口流出的氣流的流速與所述敞口結構的高度之比為3~4 m/s：1.5~2.5 m。