[發明專利]一種可旋轉可移動靶架傳動裝置

在審

• 申請號: 201710603757.3
• 申請日: 2017-07-23
• 公開（公告）號: CN109280880A
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 王靜輝;張小飛
• 申請（專利權）人: 杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及到傳動技術領域，尤其涉及一種可旋轉可移動靶架傳動裝置。該可旋轉可移動靶架傳動裝置，包括靶架移動電機、支架、導軌、靶架旋轉電機和真空箱。本發明設計了一種可旋轉可移動靶架傳動裝置中靶架移動電機可以通過支架帶動靶架左右移動，靶架旋轉電機能夠帶動靶架旋轉。該裝置可以實現在超高真空狀態下，靶架旋轉和移動的同時動作。不僅實現了靶架和離子源之間距離的自動調整，而且此裝置配合光學監控系統實現了靶架位置和移動速度可編程控制，保證了鍍膜膜厚的均勻性。總之，該可旋轉可移動靶架傳動裝置結構設計合理，靶架定位方便準確，適合推廣使用。

技術領域

本發明涉及到傳動技術領域，尤其涉及一種可旋轉可移動靶架傳動裝置。

背景技術

鍍膜過程中靶材與離子源之間有一個最佳距離要求，此位置尺寸一般是根據工藝試驗確定后直接將其固定下來，需要經過多次反復試驗，通過多次手動調整靶架與真空室的連接法蘭位置，過程非常繁瑣，費時費力并且效率低下。

為了解決上述技術問題，本發明設計了一種可旋轉可移動靶架傳動裝置，該可旋轉可移動靶架傳動裝置中靶架移動電機可以通過支架帶動靶架左右移動，靶架旋轉電機能夠帶動靶架旋轉。該裝置可以實現在超高真空狀態下，靶架旋轉和移動的同時動作。不僅實現了靶架和離子源之間距離的自動調整，而且此裝置配合光學監控系統實現了靶架位置和移動速度可編程控制，保證了鍍膜膜厚的均勻性。總之，該可旋轉可移動靶架傳動裝置結構設計合理，靶架定位方便準確，適合推廣使用。

發明內容

為了克服背景技術中存在的缺陷，本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種可旋轉可移動靶架傳動裝置，包括靶架移動電機、支架、導軌、靶架旋轉電機和真空箱，所述支架上設有靶架，所述靶架上設有蝸輪蝸桿機構，所述支架的底部設有轉輪，所述導軌固定在真空箱的底部，所述支架設置在真空箱的內部，所述靶架移動電機和靶架旋轉電機設置在真空箱的外部，所述靶架移動電機和支架之間設有絲杠傳動機構，所述靶架移動電機能夠通過絲杠傳動機構帶動支架底部的轉輪沿著導軌轉動，所述蝸輪蝸桿機構和靶架旋轉電機之間設有萬向聯軸節，所述靶架旋轉電機能夠通過蝸輪蝸桿機構和萬向聯軸節帶動靶架旋轉。

優選的所述絲杠傳動機構和萬向聯軸節設置在真空箱的內部。

優選的所述導軌的兩端設有擋板。

本發明設計了一種可旋轉可移動靶架傳動裝置，該可旋轉可移動靶架傳動裝置中靶架移動電機可以通過支架帶動靶架左右移動，靶架旋轉電機能夠帶動靶架旋轉。該裝置可以實現在超高真空狀態下，靶架旋轉和移動的同時動作。不僅實現了靶架和離子源之間距離的自動調整，而且此裝置配合光學監控系統實現了靶架位置和移動速度可編程控制，保證了鍍膜膜厚的均勻性。總之，該可旋轉可移動靶架傳動裝置結構設計合理，靶架定位方便準確，適合推廣使用。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。

圖1是本發明一種可旋轉可移動靶架傳動裝置的結構示意圖；

其中:1、靶架移動電機；2、絲杠傳動機構；3、靶架；4、蝸輪蝸桿機構；5、萬向聯軸節；6、支架；7、導軌；8、靶架旋轉電機；9、轉輪；10、擋板；11、真空箱。

具體實施方式

現在結合附圖對本發明作進一步詳細的說明。附圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發明的基本結構，因此其僅顯示與本發明有關的構成。