[發明專利]一種可旋轉可移動靶架傳動裝置在審

申請號：	201710603757.3	申請日：	2017-07-23
公開（公告）號：	CN109280880A	公開（公告）日：	2019-01-29
發明（設計）人：	王靜輝;張小飛	申請（專利權）人：	杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司
主分類號：	C23C14/00	分類號：	C23C14/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215600 江蘇省蘇州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	靶架可旋轉傳動裝置旋轉電機移動電機支架超高真空狀態傳動技術領域傳動裝置結構光學監控系統可編程控制裝置配合左右移動均勻性離子源真空箱移動導軌鍍膜膜厚保證
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【權利要求書】：

1.一種可旋轉可移動靶架傳動裝置，包括靶架移動電機（1）、支架（6）、導軌（7）、靶架旋轉電機（8）和真空箱（11），其特征在于：所述支架（6）上設有靶架（3），所述靶架（3）上設有蝸輪蝸桿機構（4），所述支架（6）的底部設有轉輪（9），所述導軌（7）固定在真空箱（11）的底部，所述支架（6）設置在真空箱（11）的內部，所述靶架移動電機（1）和靶架旋轉電機（8）設置在真空箱（11）的外部，所述靶架移動電機（1）和支架（6）之間設有絲杠傳動機構（2），所述靶架移動電機（1）能夠通過絲杠傳動機構（2）帶動支架（6）底部的轉輪（9）沿著導軌（7）轉動，所述蝸輪蝸桿機構（4）和靶架旋轉電機（8）之間設有萬向聯軸節（5），所述靶架旋轉電機（8）能夠通過蝸輪蝸桿機構（4）和萬向聯軸節（5）帶動靶架（3）旋轉。

2.根據權利要求1所述的一種可旋轉可移動靶架傳動裝置，其特征在于：所述絲杠傳動機構（2）和萬向聯軸節（5）設置在真空箱（11）的內部。

3.根據權利要求2所述的一種可旋轉可移動靶架傳動裝置，其特征在于：所述導軌（7）的兩端設有擋板（10）。

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