[發明專利]圓筒形濺射靶在審
| 申請號： | 201710599096.1 | 申請日： | 2017-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN107829073A | 公開（公告）日： | 2018-03-23 |
| 發明（設計）人： | 石田新太郎;久保田高史 | 申請（專利權）人： | 三井金屬礦業株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司72002 | 代理人： | 陳建全 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圓筒 濺射 | ||
【權利要求書】：
1.一種圓筒形濺射靶，其具有多個圓筒形濺射靶材，
其中，所述濺射靶材沿著它們的軸線方向串聯配置，
沿著軸線方向相鄰的兩個所述濺射靶材是所述濺射靶材的相對置的端面彼此呈互補形狀，
所述端面呈不具有與所述濺射靶材的軸線正交的平面的形狀。
2.根據權利要求1所述的圓筒形濺射靶，其中，所述濺射靶材的端面呈在從該端面上的任意一點沿周緣繞一周進行側視時的軌跡中具有至少一處最高位置和至少一處最低位置的形狀。
3.根據權利要求1所述的圓筒形濺射靶，其中，所述端面呈位于與所述軸線以除了90度以外的角度交叉的平面P1內的形狀。
4.根據權利要求3所述的圓筒形濺射靶，其中，和軸線正交的面Pxy與平面P1交叉的角度θ為4度～20度。
5.根據權利要求1所述的圓筒形濺射靶，其中，所述濺射靶材的外徑為145mm～160mm，
在沿著軸線方向相鄰的兩個所述濺射靶材之間具有分離部，該分離部的沿著軸線方向的長度為0.05mm～0.6mm。
6.根據權利要求1所述的圓筒形濺射靶，其中，所述濺射靶材為陶瓷制。
7.根據權利要求1所述的圓筒形濺射靶，其中，所述濺射靶材為包含選自In、Ga、Zn、Sn和Al中的至少一種元素的氧化物的陶瓷制。
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