[發(fā)明專利]一種基于電子束蒸發(fā)技術(shù)的TiO2高透過(guò)率高電導(dǎo)率薄膜制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710598816.2
• 申請(qǐng)日: 2017-07-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107267930A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張治國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張治國(guó)
• 主分類號(hào): C23C14/30
• 分類號(hào): C23C14/30;C23C14/08
• 代理公司: 北京彭麗芳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11407
• 代理人: 彭麗芳

1.一種基于電子束蒸發(fā)技術(shù)的TiO₂高透過(guò)率高電導(dǎo)率薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、將二氧化鈦粉末(顆粒)放在模具里加壓，壓制成致密的塊狀物后，取出，置于剛玉盒內(nèi)，24h后放入燒結(jié)爐中，在一定的溫度下燒結(jié)成型；

S2、打開(kāi)機(jī)器將靶材放入銅質(zhì)坩堝內(nèi)，將清洗干燥后的石英玻璃卡入載片盤，將電子束蒸發(fā)臺(tái)的鐘罩抽成真空，投入氫氣或氮?dú)馇逑寸娬郑訜崾⒉Ａ秒娮邮Z擊靶材，并且控制好蒸發(fā)速率即可。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于電子束蒸發(fā)技術(shù)的TiO₂高透過(guò)率高電導(dǎo)率薄膜制備方法，其特征在于，所述石英玻璃通過(guò)以下步驟完成清洗干燥：

取一定尺寸的玻璃，兩面用洗滌劑清洗干凈后，依次用自來(lái)水、去離子水沖洗，自然干燥后將其置于不銹鋼掛架上，依次用丙酮超聲清洗5分鐘、無(wú)水乙醇超聲清洗5分鐘、去離子水超聲清洗兩次，每次5分鐘，然后將洗好的玻璃放入烘箱干燥，待用。

3.如權(quán)利要求1所述的一種基于電子束蒸發(fā)技術(shù)的TiO₂高透過(guò)率高電導(dǎo)率薄膜制備方法，其特征在于，所述步驟S1具體包括如下步驟：

S11、將二氧化鈦粉末(顆粒)裝滿直徑為2.5cm，深4cm的模具，略加振動(dòng)，裝滿后倒入一清潔容器內(nèi)，加入少量聚乙烯醇，攪拌均勻后裝入模具，接著加壓，當(dāng)壓力在31MPa的時(shí)候停止加壓，得致密的塊狀物；

S12、將所得的致密的塊狀物取出，放入剛玉盒中蓋好蓋。24h后將樣品盒放入燒結(jié)爐中加溫，恒溫區(qū)溫度為50℃、100℃、250℃、400℃、600℃、800℃、1000℃、1100℃。

4.如權(quán)利要求1所述的一種基于電子束蒸發(fā)技術(shù)的TiO₂高透過(guò)率高電導(dǎo)率薄膜制備方法，其特征在于，所述步驟S2具體包括如下步驟：

S21、打開(kāi)電子束蒸發(fā)臺(tái)的鐘罩，將清洗干燥后的石英玻璃卡入載片盤，將制備好的靶材放入銅質(zhì)坩堝，密閉鐘罩門并且鎖死，開(kāi)啟機(jī)械泵，開(kāi)啟低真空閥，當(dāng)真空度達(dá)到10^-1Pa的時(shí)候，關(guān)閉低真空閥，并向鐘罩內(nèi)充入氫氣或氮?dú)獾?.1MPa(清洗鐘罩)；打開(kāi)低真空閥，當(dāng)真空度再次達(dá)到10^-1Pa的時(shí)候，切換機(jī)械泵氣路控制閥到抽系統(tǒng)；打開(kāi)渦輪分子泵和高真空閥，待真空度達(dá)到4×10^-4Pa的時(shí)候，啟動(dòng)襯底玻璃加熱裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在石英玻璃溫度達(dá)到450℃時(shí)，真空度再次達(dá)到4×10^-3Pa的時(shí)候，打開(kāi)燈絲電源，打開(kāi)6000伏高壓，緩慢調(diào)節(jié)燈絲電壓并觀察電子束打在靶上的位置，同時(shí)調(diào)節(jié)磁場(chǎng)改變電子束落點(diǎn)到合適位置；

S22、打開(kāi)薄膜測(cè)厚儀和擋板，觀察測(cè)厚儀指示數(shù)值，當(dāng)薄膜厚度達(dá)到一定厚度時(shí)，關(guān)閉高壓和燈絲電壓，然后關(guān)閉測(cè)厚儀、加熱裝置、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、高真空閥、渦輪分子泵和機(jī)械泵，機(jī)器冷卻后取出，即得。