[發(fā)明專利]一種基板傳送裝置及方法、蒸鍍?cè)O(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710597074.1
• 申請(qǐng)日: 2017-07-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107393860B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚固;朱儒暉;郭書鵬;鄒清華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/677;H01L51/56;C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發(fā)明公開(kāi)一種基板傳送裝置及方法、蒸鍍?cè)O(shè)備，涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，以在更換要制作在襯底基板的的顯示器件的尺寸時(shí)，降低對(duì)承載機(jī)構(gòu)和分離機(jī)構(gòu)更換的繁瑣性。所述基板傳送裝置包括承載機(jī)構(gòu)、分離機(jī)構(gòu)以及升降機(jī)構(gòu)，承載機(jī)構(gòu)包括承載機(jī)構(gòu)本體，承載機(jī)構(gòu)本體的頂面設(shè)有固定件和分離孔；分離機(jī)構(gòu)設(shè)在承載機(jī)構(gòu)本體所具有的容納腔中，承載機(jī)構(gòu)本體的底面設(shè)有升降孔，容納腔分別與分離孔和升降孔連通，容納腔通過(guò)升降孔與外界連通，升降機(jī)構(gòu)位于外界；所述基板傳送方法應(yīng)用上述技術(shù)方案所提的基板傳送裝置。本發(fā)明提供的基板傳送裝置用于蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板傳送裝置及方法、蒸鍍?cè)O(shè)備。

背景技術(shù)

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)顯示器件具有低能耗、對(duì)比度高、視角廣等諸多優(yōu)點(diǎn)，是目前受到廣泛關(guān)注的一種顯示器件。目前OLED顯示器件的主流制備工藝是蒸鍍技術(shù)，所采用的蒸鍍?cè)O(shè)備一般包括內(nèi)聯(lián)式蒸鍍?cè)O(shè)備(inline式)和群集式蒸鍍?cè)O(shè)備(cluster式)，其中采用inline式蒸鍍?cè)O(shè)備制備OLED顯示器件時(shí)，是利用承載機(jī)構(gòu)固定好待蒸鍍基板，并將固定好的待蒸鍍基板與相應(yīng)的掩膜板對(duì)位，在完成對(duì)位后，承載機(jī)構(gòu)控制待蒸鍍基板和掩膜板勻速經(jīng)過(guò)各個(gè)填裝有不同材料的加熱源的上方，實(shí)現(xiàn)在基板上形成OLED顯示器件，在OLED顯示器件制備完成后，再通過(guò)分離裝置將形成有OLED顯示器件的基板與承載機(jī)構(gòu)分離即可。

但是由于現(xiàn)有技術(shù)中，分離機(jī)構(gòu)與承載機(jī)構(gòu)是兩個(gè)獨(dú)立的部分，且分離機(jī)構(gòu)與控制分離機(jī)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在一起，當(dāng)需要改變制作在襯底基板上的OLED顯示器件的尺寸時(shí)，就要更換適合的承載機(jī)構(gòu)和分離機(jī)構(gòu)，而在更換合適的分離機(jī)構(gòu)時(shí)，要將分離機(jī)構(gòu)從升降機(jī)構(gòu)上拆下，并重新安裝與待制作的OLED顯示器件的尺寸相適應(yīng)的新的分離機(jī)構(gòu)，該過(guò)程不僅繁瑣，而且極大的降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種基板傳送裝置及方法、蒸鍍?cè)O(shè)備，用于解決現(xiàn)有的蒸鍍?cè)O(shè)備中，在改變要制作的顯示器件的尺寸時(shí)，更換分離機(jī)構(gòu)的過(guò)程繁瑣，降低生產(chǎn)效率的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

本發(fā)明的第一方面提供一種基板傳送裝置，包括承載機(jī)構(gòu)、分離機(jī)構(gòu)以及用于控制所述分離機(jī)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)，所述承載機(jī)構(gòu)包括承載機(jī)構(gòu)本體，所述承載機(jī)構(gòu)本體作為承載面的頂面設(shè)有用以固定基板的固定件和分離孔；所述承載機(jī)構(gòu)本體中具有與所述分離孔連通的容納腔，所述分離機(jī)構(gòu)位于所述容納腔中，所述承載機(jī)構(gòu)本體的底面設(shè)有連通所述容納腔和外界的升降孔，所述升降機(jī)構(gòu)位于所述外界；

所述基板傳送裝置還包括控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)能夠控制所述分離機(jī)構(gòu)在容納腔中的狀態(tài)，使得所述基板傳送裝置在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間切換；

其中，在所述第一狀態(tài)，所述控制機(jī)構(gòu)控制所述分離機(jī)構(gòu)位于所述容納腔中且處于固定狀態(tài)；

在所述第二狀態(tài)，所述控制機(jī)構(gòu)控制所述分離機(jī)構(gòu)在所述容納腔中處于活動(dòng)狀態(tài)，且控制所述升降機(jī)構(gòu)頂起所述分離機(jī)構(gòu)，使得所述分離機(jī)構(gòu)在所述升降機(jī)構(gòu)的作用下相對(duì)所述容納腔移動(dòng)，直至至少部分所述分離機(jī)構(gòu)超出所述容納腔，頂起所述基板，使所述基板與所述固定件分離進(jìn)而與所述承載面分離。

進(jìn)一步地，所述承載機(jī)構(gòu)本體包括承載底板，以及設(shè)在所述承載底板上的承載外框，所述承載外框與所述承載底板圍成所述容納腔；所述承載外框背離所述承載底板的表面為所述承載面，所述升降孔開(kāi)設(shè)在所述承載底板上。