[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體專用設(shè)備軸密封結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710595601.5
• 申請(qǐng)日: 2017-07-20
• 公開（公告）號(hào): CN107255166A
• 公開（公告）日: 2017-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭春華;劉永進(jìn);侯為萍;祝福生;舒福璋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): F16J15/16
• 分類號(hào): F16J15/16;F16J15/40;F16C35/08
• 代理公司: 北京中建聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11004
• 代理人: 宋元松;朱麗巖

1.一種半導(dǎo)體專用設(shè)備軸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括安裝在傳動(dòng)軸（1）上的入口盤（2），套裝在入口盤（2）上的套盤（3）；所述傳動(dòng)軸（1）上與入口盤（2）及套盤（3）的接觸部分包括凹槽段（1-1）和螺旋段（1-2）；所述套盤（3）的上部設(shè)置有圓周凹槽，套盤（3）的內(nèi)側(cè)設(shè)置有異形槽；套盤（3）上的異形槽與傳動(dòng)軸（1）上的凹槽段（1-1）形成膨脹空腔，膨脹空腔內(nèi)充滿氮?dú)猓桥蛎浛涨粌?nèi)為正壓；入口盤（2）及套盤（3）的內(nèi)側(cè)與螺旋段（1-2）形成節(jié)流間隙，用于甩出滲漏的液體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述軸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述套盤（3）上的圓周凹槽與套盤（3）上的異形槽之間設(shè)置有通孔（15）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述軸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)軸（1）上螺旋段（1-2）的螺旋方向與傳動(dòng)軸（1）的旋轉(zhuǎn)方向相反。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述軸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)軸（1）上的凹槽段（1-1）設(shè)置有圓周凹槽，其沿傳動(dòng)軸（1）上的圓周方向分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述軸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)軸（1）上的圓周凹槽的數(shù)量為多個(gè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述軸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述套盤（3）內(nèi)側(cè)的異形槽為“＞”型槽。