[發明專利]一種半導體專用設備軸密封結構

有效

• 申請號: 201710595601.5
• 申請日: 2017-07-20
• 公開（公告）號: CN107255166A
• 公開（公告）日: 2017-10-17
• 發明（設計）人: 郭春華;劉永進;侯為萍;祝福生;舒福璋
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: F16J15/16
• 分類號: F16J15/16;F16J15/40;F16C35/08
• 代理公司: 北京中建聯合知識產權代理事務所(普通合伙)11004
• 代理人: 宋元松;朱麗巖

本發明公開了一種半導體專用設備軸密封結構，其包括安裝在傳動軸上的入口盤，套裝在入口盤上的套盤；所述傳動軸與入口盤及套盤的接觸部分包括凹槽段和螺旋段；所述套盤的上部設置有圓周凹槽，套盤的內側設置有異形槽；套盤上的異形槽與傳動軸上的凹槽段形成膨脹空腔，膨脹空腔內充滿氮氣，是膨脹空腔內為正壓；入口盤及套盤的內側與螺旋段形成節流間隙，用于甩出滲漏的液體。本發明提供的一種半導體專用設備軸密封結構，其采用多級圓周凹槽密封和螺旋密封組合形式密封，并且在膨脹空腔內充氮保持正壓，以防止酸堿性氣、液的滲入，該密封結構提高了密封的可靠度，防止了軸系內部的腐蝕，有利于提高軸系工作的壽命。

技術領域

本發明涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種半導體專用設備軸密封結構。

背景技術

傳動軸是機械中最為常見的一種結構，是實現動力傳遞，導向支承等功能的關鍵部件。

隨著現代工業的飛速發展，對軸結構的要求也越來越高，密封性便是對軸性能提出的一大挑戰。然而在對可靠性及精度要求更高的半導體領域而言，對軸密封的研究是該技術領域的焦點。

在半導體專用設備領域，傳動軸的工作環境比較復雜，其常處在強酸、強堿等腐蝕性氣、液體惡劣工況下，這對軸密封性能的好壞直接影響軸的工作性能，這對傳動軸的壽命、可靠性及精度有著至關重要的影響。

傳統的單一的密封形式有時難以滿足苛刻的工況條件，亟需設計一種軸密封結構，解決半導體設備軸密封的問題。

發明內容

本發明是針對上述技術問題，提供了一種半導體專用設備軸密封結構，其采用多級圓周凹槽密封和螺旋密封組合形式密封，并且在膨脹空腔內充氮保持正壓，以防止酸堿性氣、液的滲入，該密封結構提高了密封的可靠度，防止了軸系內部的腐蝕，有利于提高軸系工作的壽命。

本發明的技術方案

為解決上述技術問題，本發明提供的一種半導體專用設備軸密封結構，其包括安裝在傳動軸上的入口盤，套裝在入口盤上的套盤。

所述傳動軸上與入口盤及套盤的接觸部分包括凹槽段和螺旋段；所述套盤的上部設置有圓周凹槽，套盤的內側設置有異形槽；套盤上的異形槽與傳動軸上的凹槽段形成膨脹空腔，膨脹空腔內充滿氮氣，是膨脹空腔內為正壓；入口盤及套盤的內側與螺旋段形成節流間隙，用于甩出滲漏的液體。這樣，多級圓周凹槽密封和螺旋密封組合形式密封，并且在膨脹空腔內充氮保持正壓，可以防止酸堿性氣、液的滲入，提高該密封結構的可靠度。

進一步地，所述套盤上的圓周凹槽與套盤上的異形槽之間設置有通孔，通孔使套盤上的圓周凹槽與膨脹空腔連接，用于沖入氮氣。

進一步地，所述傳動軸上螺旋段的螺旋方向與傳動軸的旋轉方向相反，這樣，當液體介質沿漏泄間隙滲漏時，借助螺旋作用而將液體甩出，以保證良好的密封性。

進一步地，所述傳動軸上的凹槽段設置有圓周凹槽，其沿傳動軸上的圓周方向分布，傳動軸與套盤之間的間隙、傳動軸凹槽段上的圓周凹槽形成膨脹空腔。

進一步地，所述傳動軸上的圓周凹槽的數量為多個，流體經過多次節流，會產生很大的能量損耗，流體壓頭大為下降，使流體難于滲漏，以達到密封的效果。

進一步地，所述套盤內側的異形槽為“＞”型槽。

本發明本發明有益效果：

本發明提供的一種半導體專用設備軸密封結構，其采用多級圓周凹槽密封和螺旋密封組合形式密封，并且在膨脹空腔內充氮保持正壓，以防止酸堿性氣、液的滲入，該密封結構提高了密封的可靠度，防止了軸系內部的腐蝕，有利于提高軸系工作的壽命。具體效果如下：

（1）本發明的傳動軸上開有多級凹槽，使流體經過許多節流間隙與膨脹空腔組成的通道，經過多次節流而產生很大的能量損耗，流體壓力大為下降，使流體難于滲漏，達到密封的效果。