[發(fā)明專利]一種陶瓷基板定位校準(zhǔn)裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710591384.2
• 申請日: 2017-07-19
• 公開（公告）號(hào): CN107195574A
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賀云波;葉文濤;劉青山;陳新;高健;楊志軍;張凱;湯暉;陳桪;陳云
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 羅滿

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，更進(jìn)一步涉及一種陶瓷基板定位校準(zhǔn)裝置。

背景技術(shù)

陶瓷基板具備優(yōu)良的導(dǎo)熱性和氣密性，被廣泛應(yīng)用于功率電子、電子封裝、混合微電子與多芯片模塊等領(lǐng)域。陶瓷基板的承載料盒的寬度略大于陶瓷基板的寬度，在使用晶圓盤機(jī)械臂搬運(yùn)陶瓷基板的過程中，料盒里面隨機(jī)存放的陶瓷基板在水平方向上會(huì)存在2—4mm的單邊位置偏差，導(dǎo)致晶圓盤機(jī)械臂的抓取位置與陶瓷基板的相對位置不一致。如果不彌補(bǔ)這些偏差，在下一步加工工藝中，陶瓷基板的位置精度就無法得到保障。

現(xiàn)有技術(shù)中，只存在用于圓形晶圓的校準(zhǔn)裝置，這些裝置一般使用傳感器和負(fù)壓吸附裝置對晶圓進(jìn)行校準(zhǔn)，未有對陶瓷基板定位校準(zhǔn)的裝置，所以設(shè)計(jì)一種用于陶瓷基板的定位校準(zhǔn)裝置，是目前本領(lǐng)域的技術(shù)人員需要解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種陶瓷基板定位校準(zhǔn)裝置，用于對陶瓷基板準(zhǔn)確定位，可以大大降低機(jī)械臂抓取的誤差，具體方案如下：

一種陶瓷基板定位校準(zhǔn)裝置，包括：

定位安裝板，呈水平設(shè)置，底面用于定位固定；

導(dǎo)向斜塊，設(shè)置于所述定位安裝板的頂面，每個(gè)陶瓷基板的側(cè)邊處至少對應(yīng)設(shè)置一個(gè)所述導(dǎo)向斜塊；每個(gè)所述導(dǎo)向斜塊上設(shè)置呈縱向傾斜的導(dǎo)向面，所述導(dǎo)向面朝向陶瓷基板；每兩個(gè)相對設(shè)置的所述導(dǎo)向面之間的距離從上到下的方向漸縮，底部間距最小處與陶瓷基板的尺寸相同。

可選地，所述導(dǎo)向斜塊包括豎直板和水平板，所述導(dǎo)向面設(shè)置于所述豎直板上，所述水平板上開設(shè)螺栓孔，通過螺栓固定于所述定位安裝板上。

可選地，所述水平板上設(shè)置腰形定位孔，所述腰形定位孔的長度方向與導(dǎo)向面的傾斜方向相同。

可選地，所述定位安裝板上按陶瓷基板的尺寸設(shè)置多排螺栓孔，每個(gè)所述導(dǎo)向斜塊對應(yīng)一排，以調(diào)整相對設(shè)置的兩個(gè)所述導(dǎo)向斜塊之間的距離。

可選地，所述導(dǎo)向面與所述定位安裝板頂面之間的夾角為60～80度。

可選地，所述所述導(dǎo)向斜塊上設(shè)置臺(tái)階面，每個(gè)所述導(dǎo)向斜塊上的所述臺(tái)階面水平高度相同，用于承托陶瓷基板；所述導(dǎo)向面靠近所述臺(tái)階面的部分呈豎直設(shè)置。

可選地，所述定位安裝板的底面固定連接支撐桿的頂端，所述支撐桿的底端設(shè)置支撐底座，所述支撐底座具有水平分量，通過螺栓固定。

可選地，所述定位安裝板與所述支撐桿通過螺栓固定，所述定位安裝板的中心設(shè)置螺栓孔，以中心的螺栓孔為圓心、所述定位安裝板上設(shè)置圓弧狀的腰形孔，通過調(diào)整螺栓在所述腰形孔中的位置微調(diào)所述定位安裝板的角度。

可選地，所述腰形孔圓弧的角度為45度。

本發(fā)明提供了一種陶瓷基板定位校準(zhǔn)裝置，包括定位安裝板和導(dǎo)向斜塊，定位安裝板呈水平設(shè)置，底面用于定位固定，其頂面設(shè)置導(dǎo)向斜塊，每個(gè)陶瓷基板的側(cè)邊處至少對應(yīng)設(shè)置一個(gè)導(dǎo)向斜塊，用于對陶瓷基板每個(gè)側(cè)邊的位置進(jìn)行導(dǎo)向和限位；導(dǎo)向斜塊上設(shè)置呈縱向傾斜的導(dǎo)向面，導(dǎo)向面朝向陶瓷基板，用于對陶瓷基板進(jìn)行導(dǎo)向，調(diào)整陶瓷基板的水平位置，每兩個(gè)相對設(shè)置的導(dǎo)向面之間的距離從上到下的方向漸縮，當(dāng)陶瓷基板由機(jī)械臂抓取并從上向下放置時(shí)，先到達(dá)導(dǎo)向斜塊的上方，上方尺寸較大，可以容許較大的誤差，當(dāng)機(jī)械臂松開后，陶瓷基板在重力的作用下向下滑動(dòng)，因?qū)蛎嫦鄬A斜設(shè)置，最終落到最底部，底部間距最小處與陶瓷基板的尺寸相同，所以陶瓷基板在定位安裝板上的位置就被唯一確定，又因?yàn)槎ㄎ话惭b板的底面固定，所以定位安裝板與機(jī)械臂的位置就被唯一確定，此時(shí)機(jī)械手抓取陶瓷基板的精確度得以提高，與直接從包裝盒中取出陶瓷基板的抓取方式相比，可以大大降低機(jī)械臂抓取的誤差。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明提供的陶瓷基板定位校準(zhǔn)裝置一種具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為各個(gè)部分的爆炸結(jié)構(gòu)軸測圖；

圖3為正視方向的爆炸結(jié)構(gòu)圖；

圖4為導(dǎo)向斜塊的結(jié)構(gòu)圖。

其中包括：

定位安裝板1、腰形孔11、導(dǎo)向斜塊2、豎直板21、水平板22、臺(tái)階面23、支撐桿3、支撐底座4。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的核心在于提供一種陶瓷基板定位校準(zhǔn)裝置，用于對陶瓷基板準(zhǔn)確定位，可以大大降低機(jī)械臂抓取的誤差。