[發(fā)明專利]金屬膜蝕刻液組合物及顯示裝置用陣列基板的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710585309.5
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN107630219B
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁圭亨;金童基;金兌勇
• 申請（專利權(quán)）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: C23F1/18
• 分類號: C23F1/18;C23F1/26;H01L27/12
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 金鮮英;宋海花

1.一種金屬膜蝕刻液組合物，其包含A)過氧化氫、B)含氟化合物、C)四唑系化合物、D)咪唑系化合物、E)一個分子內(nèi)具有氮原子和羧基的水溶性化合物、F)硫酸鹽、和G)多元醇型表面活性劑，

所述C)四唑系化合物與D)咪唑系化合物的含量比率為1:20～20:1，

所述C)四唑系化合物為選自由5-甲基-1H-四唑、5-苯基-1H-四唑、5-氨基-1-甲基四唑、5-芐基-1H-四唑、5-巰基-1-甲基四唑和1-甲基-1H-四唑組成的組中的一種以上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述B)含氟化合物為選自由HF、NaF、NH₄F、NH₄BF₄、NH₄HF₂、KF、KHF₂、AlF₃和HBF₄組成的組中的一種以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述D)咪唑系化合物為選自由咪唑、苯并咪唑、2-苯基咪唑、1-甲基-1H-咪唑、2-甲基-1H-咪唑、4-甲基-1H-咪唑、1H-咪唑-1-丙胺、1H-咪唑-1-乙胺、2-巰基苯并咪唑、2-巰基甲基苯并咪唑和1,2-二甲基咪唑組成的組中的一種以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述E)一個分子內(nèi)具有氮原子和羧基的水溶性化合物為選自由丙氨酸、氨基丁酸、谷氨酸、甘氨酸、亞氨基二乙酸、氨三乙酸和肌氨酸組成的組中的一種或兩種以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述G)多元醇型表面活性劑為選自由甘油、三乙二醇和聚乙二醇組成的組中的一種以上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述F)硫酸鹽為選自由硫酸銨、硫酸鈉、硫酸鉀、硫酸鎂和硫酸鋰組成的組中的一種以上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，進一步包含有機酸。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述有機酸為選自由乙酸、丁酸、檸檬酸、甲酸、葡糖酸、丙二酸、戊酸、乳酸和草酸組成的組中的一種以上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，進一步包含添加劑。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述添加劑為多價螯合劑和防腐蝕劑中的一種以上。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一項所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，所述金屬膜由銅或銅合金的單層膜、或者多層膜構(gòu)成，所述多層膜包含選自銅膜或銅合金膜中的一層以上的膜和選自由鉬膜、鉬合金膜、鈦膜和鈦合金膜組成的組中的一層以上的膜。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，相對于組合物總重量，所述金屬膜蝕刻液組合物包含：

A)過氧化氫(H₂O₂)15～25重量％；

B)含氟化合物0.01～3.0重量％；

C)四唑系化合物0.05～3.0重量％；

D)咪唑系化合物0.05～3.0重量％；

E)一個分子內(nèi)具有氮原子和羧基的水溶性化合物0.5～5.0重量％；

F)硫酸鹽0.05～5.0重量％；

G)多元醇型表面活性劑1.0～5.0重量％；和

H)余量的水。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的金屬膜蝕刻液組合物，其特征在于，進一步包含有機酸0.01～5.0重量％。