[發明專利]硅片清洗裝置

在審

• 申請號: 201710577183.7
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN107481956A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 孫文生
• 申請（專利權）人: 合肥文勝新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18;B08B1/02;B08B1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.硅片清洗裝置，其特征在于：包括固定架、傳送帶、驅動電機、連接板、第一刷頭、第二刷頭；

所述固定架設于所述傳送帶上方，所述固定架頂部的一側設有所述驅動電機，所述驅動電機的轉軸相應設于所述固定架的底部，所述轉軸靠近所述傳送帶的一端上固定有所述連接板，所述連接板靠近所述傳送帶的一側上均勻設有若干個所述第一刷頭，所述第一刷頭上均設有第一毛刷；所述固定架底部的另一側設有若干個所述第二刷頭，所述第二刷頭上靠近所述傳送帶的一端設有第二毛刷；

所述第二毛刷均由若干個纖維繩組成，每個所述纖維繩上均設有若干個倒鉤。

2.根據權利要求1所述的硅片清洗裝置，其特征在于：所述倒鉤均為纖維材質。