[發明專利]電弧抑制裝置與電弧抑制方法

有效

• 申請號: 201710575768.5
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN109256759B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 賴威勳;王健宇;邱柏晟;陳至鈞
• 申請（專利權）人: 臺達電子工業股份有限公司
• 主分類號: H02H9/02
• 分類號: H02H9/02
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;李巖

一種電弧抑制裝置包含交流/直流轉換器、開關、電阻器與控制器。開關耦接于交流/直流轉換器與電漿室之間。電阻器并聯耦接開關。控制器耦接開關。交流/直流轉換器用以將交流電壓轉換為直流電壓以提供至電漿室。控制器用以檢測電漿室接收的電漿電流的斜率。當控制器判斷電漿電流的斜率大于第一斜率門檻值時，控制器控制開關電性隔離交流/直流轉換器與電漿室以通過電阻器將電漿電流降低至第一電流值。

技術領域

本發明是有關于電弧抑制技術，且特別是有關于一種連續輸出能量的電弧抑制裝置與電弧抑制方法。

背景技術

于電漿工藝中，當電漿室內發生電弧時，容易導致工藝的良率不佳。然而，為了消除電漿室內的電弧而斷開輸出至電漿室的電源，將會產生能量不連續的問題。此外，若通過多個開關元件控制電源的輸出，則操作方式變得較為復雜。

發明內容

本揭示內容的一態樣是提供一種電弧抑制裝置，其包含交流/直流轉換器、開關、電阻器與控制器。開關耦接于交流/直流轉換器與電漿室之間。電阻器并聯耦接開關。控制器耦接開關。交流/直流轉換器用以將交流電壓轉換為直流電壓以提供至電漿室。控制器用以檢測電漿室接收的電漿電流的斜率。當控制器判斷電漿電流的斜率大于第一斜率門檻值時，控制器控制開關電性隔離交流/直流轉換器與電漿室以通過電阻器將電漿電流降低至第一電流值。

本揭示內容的另一態樣是提供一種電弧抑制方法，其包含以下步驟。通過控制器，當判斷電漿室接收的電漿電流的斜率大于第一斜率門檻值時，控制開關電性隔離交流/直流轉換器與電漿室以通過電阻器將電漿電流降低至第一電流值。開關電性耦接于交流/直流轉換器與電漿室之間，電阻器并聯耦接開關。

綜上所述，當電弧發生時，電弧抑制裝置可通過電阻器降低輸出至電漿室的電漿電流至第一電流值以消除電弧。此外，由于電弧抑制裝置并未中斷輸出至電漿室(亦即并未將電漿電流降至零)，因此當電弧消除后電弧抑制裝置可快速地恢復電漿室正常操作。

以下將以實施方式對上述的說明作詳細的描述，并對本揭示內容的技術方案提供更進一步的解釋。

附圖說明

為讓本揭示內容的上述和其他目的、特征、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖示的說明如下：

圖1為根據本揭示內容一實施例繪示的電弧抑制裝置的示意圖；

圖2為根據本發明一實施例繪示的電弧抑制方法流程圖；

圖3A為根據本揭示內容一實施例繪示的電弧抑制裝置的操作示意圖；

圖3B為根據本揭示內容一實施例繪示的電弧抑制裝置的操作示意圖；

圖4A為繪示本揭示內容一實施例中對應第3A、3B圖的電弧抑制裝置的波形示意圖；

圖4B為繪示本揭示內容一實施例中對應第3A、3B圖的電弧抑制裝置的波形示意圖；以及

圖4C為繪示本揭示內容一實施例中對應圖3A、3B的電弧抑制裝置的波形示意圖。

其中附圖標記為：

100：電弧抑制裝置

110：交流/直流轉換器

111、L1_1、C1_1、L2_1、C2_1、SW_1、R_1：第一端

112、L1_2、C1_2、L2_2、C2_2、SW_2、R_2：第二端

120：控制器

130、140：電感電容電路

150：電漿室

151：外殼

152：靶材

L1、L2：電感器