[發(fā)明專利]電弧抑制裝置與電弧抑制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710575768.5
• 申請(qǐng)日: 2017-07-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109256759B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賴威勳;王健宇;邱柏晟;陳至鈞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)達(dá)電子工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): H02H9/02
• 分類號(hào): H02H9/02
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;李巖

1.一種電弧抑制裝置，其特征在于，包含：

一交流/直流轉(zhuǎn)換器，用以轉(zhuǎn)換一交流電壓為一直流電壓以提供至一電漿室；

一開(kāi)關(guān)，耦接于該交流/直流轉(zhuǎn)換器與該電漿室之間；

一電阻器，并聯(lián)耦接該開(kāi)關(guān)；以及

一控制器，耦接該開(kāi)關(guān)并用以檢測(cè)該電漿室接收的一電漿電流的一斜率，并且當(dāng)判斷該電漿電流的該斜率大于一第一斜率門檻值時(shí)，控制該開(kāi)關(guān)電性隔離該交流/直流轉(zhuǎn)換器與該電漿室以通過(guò)該電阻器將該電漿電流降低至一第一電流值；該控制器更用以當(dāng)判斷該電漿電流的該斜率大于一第二斜率門檻值時(shí)，斷開(kāi)該交流/直流轉(zhuǎn)換器。

2.如權(quán)利要求1所述的電弧抑制裝置，其特征在于，更包含：

一第一電感電容電路，耦接于該交流/直流轉(zhuǎn)換器與該控制器之間并用以對(duì)該直流電壓進(jìn)行濾波。

3.如權(quán)利要求2所述的電弧抑制裝置，更包含：

一第二電感電容電路，耦接于該控制器與該電漿室之間并用以抑制該電漿電流的該斜率。

4.如權(quán)利要求3所述的電弧抑制裝置，其特征在于，該交流/直流轉(zhuǎn)換器具有一第一端與一第二端，該開(kāi)關(guān)具有一第一端與一第二端，該第一電感電容電路包含：

一第一電感器，具有一第一端與一第二端，其中該第一電感器的該第一端耦接該交流/直流轉(zhuǎn)換器的該第一端，該第一電感器的該第二端耦接該開(kāi)關(guān)的該第一端；以及

一第一電容器，具有一第一端與一第二端，其中該第一電容器的該第一端耦接該第一電感器的該第二端，該第一電容器的該第二端耦接該交流/直流轉(zhuǎn)換器的該第二端。

5.如權(quán)利要求4所述的電弧抑制裝置，其特征在于，該第二電感電容電路包含：

一第二電感器，具有一第一端與一第二端，其中該第二電感器的該第一端耦接該開(kāi)關(guān)的該第二端，該第二電感器的該第二端耦接該電漿室的一外殼；以及

一第二電容器，具有一第一端與一第二端，其中該第二電容器的該第一端耦接該第二電感器的該第二端，該第二電容器的該第二端耦接該交流/直流轉(zhuǎn)換器的該第二端。

6.如權(quán)利要求5所述的電弧抑制裝置，其特征在于，該第一電感器的電感值大于該第二電感器的電感值。

7.如權(quán)利要求5所述的電弧抑制裝置，其特征在于，該第一電容器的電容值大于該第二電容器的電容值。

8.如權(quán)利要求1所述的電弧抑制裝置，其特征在于，該控制器更用以于控制該開(kāi)關(guān)電性隔離該交流/直流轉(zhuǎn)換器與該電漿室并經(jīng)過(guò)一第一時(shí)間后，控制該開(kāi)關(guān)電性連接該交流/直流轉(zhuǎn)換器與該電漿室以調(diào)整該電漿電流至一第二電流值，其中該第二電流值大于該第一電流值。

9.如權(quán)利要求1所述的電弧抑制裝置，其特征在于，該控制器更用以檢測(cè)該電漿室接收的一電漿電壓，并且當(dāng)判斷該電漿電流的該斜率大于該第一斜率門檻值以及該電漿電壓小于一第一電壓門檻值時(shí)，控制該開(kāi)關(guān)電性隔離該交流/直流轉(zhuǎn)換器與該電漿室以通過(guò)該電阻器將該電漿電流降低至該第一電流值，其中該電漿電壓關(guān)聯(lián)該直流電壓。

10.如權(quán)利要求9所述的電弧抑制裝置，其特征在于，該控制器更用以當(dāng)判斷該電漿電流的該斜率大于一第二斜率門檻值以及該電漿電壓小于一第二電壓門檻值時(shí)，斷開(kāi)該交流/直流轉(zhuǎn)換器。

11.一種電弧抑制方法，其特征在于，包含：

通過(guò)一控制器，當(dāng)判斷一電漿室接收的一電漿電流的一斜率大于一第一斜率門檻值時(shí)，控制一開(kāi)關(guān)電性隔離交流/直流轉(zhuǎn)換器與該電漿室以通過(guò)一電阻器將該電漿電流降低至一第一電流值，其中該開(kāi)關(guān)電性耦接于該交流/直流轉(zhuǎn)換器與該電漿室之間，該電阻器并聯(lián)耦接該開(kāi)關(guān)；通過(guò)該控制器，當(dāng)判斷該電漿電流的該斜率大于一第二斜率門檻值時(shí)，斷開(kāi)該交流/直流轉(zhuǎn)換器。